Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung: Forschungsbericht ; Technologische Forschung und Entwicklung - Elektronik 1 Physikalische Grundlagen und experimentelle Ergebnisse
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| Published: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1981
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