Handbook of ion beam processing technology: principles, deposition, film modification and synthesis
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Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Park Ridge, NJ Noyes Publ. 1989
Schriftenreihe:Materials science and process technology series
Schlagworte:
Beschreibung:XVIII, 438 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:081551199X

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