Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
1990
|
| Subjects: |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004227939 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20101118 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 910214s1990 m||| 00||| undod | ||
| 035 | |a (OCoLC)165551043 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004227939 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-19 |a DE-12 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Sarott, Flurin-Andry |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits |c von Flurin-Andry Sarott |
| 264 | 1 | |c 1990 | |
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zürich, Univ., Diss., 1990 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Niederdruckplasma |0 (DE-588)4274388-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Abscheidung |0 (DE-588)4141100-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Abscheidung |0 (DE-588)4141100-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Niederdruckplasma |0 (DE-588)4274388-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002632223 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804118427384676352 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Sarott, Flurin-Andry |
| author_facet | Sarott, Flurin-Andry |
| author_role | aut |
| author_sort | Sarott, Flurin-Andry |
| author_variant | f a s fas |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004227939 |
| ctrlnum | (OCoLC)165551043 (DE-599)BVBBV004227939 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01220nam a2200337 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV004227939</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20101118 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">910214s1990 m||| 00||| undod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)165551043</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004227939</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sarott, Flurin-Andry</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits</subfield><subfield code="c">von Flurin-Andry Sarott</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zürich, Univ., Diss., 1990</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Niederdruckplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274388-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Abscheidung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4141100-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Abscheidung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4141100-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Niederdruckplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274388-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002632223</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV004227939 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:10:07Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002632223 |
| oclc_num | 165551043 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-19 DE-BY-UBM DE-12 DE-188 |
| owner_facet | DE-19 DE-BY-UBM DE-12 DE-188 |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| record_format | marc |
| spelling | Sarott, Flurin-Andry Verfasser aut Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits von Flurin-Andry Sarott 1990 txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zürich, Univ., Diss., 1990 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 gnd rswk-swf Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Abscheidung (DE-588)4141100-6 s Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 s DE-604 |
| spellingShingle | Sarott, Flurin-Andry Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 gnd Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4274388-6 (DE-588)4141100-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits |
| title_auth | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits |
| title_exact_search | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits |
| title_full | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits von Flurin-Andry Sarott |
| title_fullStr | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits von Flurin-Andry Sarott |
| title_full_unstemmed | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits von Flurin-Andry Sarott |
| title_short | Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits |
| title_sort | kinetik und mechanismus der silizium abscheidung in einer niederdruckentladung und kontrolle der strukturellen und physikalischen eigenschaften des deposits |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 gnd Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd |
| topic_facet | Silicium Niederdruckplasma Abscheidung Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT sarottflurinandry kinetikundmechanismusdersiliziumabscheidungineinerniederdruckentladungundkontrollederstrukturellenundphysikalischeneigenschaftendesdeposits |