(1991). Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie (Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl.). Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie. Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. Berlin [u.a.]: Springer, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie. Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. Springer, 1991.
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