Halbleiter-Technologie: eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Stuttgart
Teubner
1991
|
| Subjects: | |
| Item Description: | Literaturangaben |
| Physical Description: | XI, 812 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3519061333 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004191417 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160601 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 901126s1991 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3519061333 |9 3-519-06133-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)74888945 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004191417 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-M347 |a DE-859 |a DE-Aug4 |a DE-92 |a DE-1043 |a DE-703 |a DE-29T |a DE-898 |a DE-355 |a DE-1046 |a DE-20 |a DE-573 |a DE-706 |a DE-522 |a DE-523 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-B768 | ||
| 084 | |a ZN 4100 |0 (DE-625)157351: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4800 |0 (DE-625)157408: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 270f |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Beneking, Heinz |d 1924-1996 |e Verfasser |0 (DE-588)10460588X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Halbleiter-Technologie |b eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente |c von Heinz Beneking |
| 264 | 1 | |a Stuttgart |b Teubner |c 1991 | |
| 300 | |a XI, 812 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Literaturangaben | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleiter |0 (DE-588)4022993-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleiter |0 (DE-588)4022993-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002611295 | ||
Record in the Search Index
| DE-BY-FWS_katkey | 84162 |
|---|---|
| _version_ | 1824553583862874112 |
| any_adam_object | |
| author | Beneking, Heinz 1924-1996 |
| author_GND | (DE-588)10460588X |
| author_facet | Beneking, Heinz 1924-1996 |
| author_role | aut |
| author_sort | Beneking, Heinz 1924-1996 |
| author_variant | h b hb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004191417 |
| classification_rvk | ZN 4100 ZN 4800 |
| classification_tum | ELT 270f |
| ctrlnum | (OCoLC)74888945 (DE-599)BVBBV004191417 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01883nam a2200469 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV004191417</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160601 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">901126s1991 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3519061333</subfield><subfield code="9">3-519-06133-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74888945</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004191417</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-M347</subfield><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-1043</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-522</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-B768</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4100</subfield><subfield code="0">(DE-625)157351:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4800</subfield><subfield code="0">(DE-625)157408:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 270f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Beneking, Heinz</subfield><subfield code="d">1924-1996</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)10460588X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiter-Technologie</subfield><subfield code="b">eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente</subfield><subfield code="c">von Heinz Beneking</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Stuttgart</subfield><subfield code="b">Teubner</subfield><subfield code="c">1991</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XI, 812 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturangaben</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022993-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022993-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002611295</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV004191417 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-02-20T06:38:11Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3519061333 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002611295 |
| oclc_num | 74888945 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-M347 DE-859 DE-Aug4 DE-92 DE-1043 DE-703 DE-29T DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-1046 DE-20 DE-573 DE-706 DE-522 DE-523 DE-634 DE-83 DE-11 DE-B768 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-M347 DE-859 DE-Aug4 DE-92 DE-1043 DE-703 DE-29T DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-1046 DE-20 DE-573 DE-706 DE-522 DE-523 DE-634 DE-83 DE-11 DE-B768 |
| physical | XI, 812 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1991 |
| publishDateSearch | 1991 |
| publishDateSort | 1991 |
| publisher | Teubner |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Beneking, Heinz 1924-1996 Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente Halbleiter (DE-588)4022993-2 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4022993-2 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4150649-2 (DE-588)4158814-9 |
| title | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente |
| title_auth | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente |
| title_exact_search | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente |
| title_full | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente von Heinz Beneking |
| title_fullStr | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente von Heinz Beneking |
| title_full_unstemmed | Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente von Heinz Beneking |
| title_short | Halbleiter-Technologie |
| title_sort | halbleiter technologie eine einfuhrung in die prozeßtechnik von silizium und iii v verbindungen mit 30 tabellen und einer mehrfarbigen tafel des periodensystems der elemente |
| title_sub | eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente |
| topic | Halbleiter (DE-588)4022993-2 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd |
| topic_facet | Halbleiter Silicium Drei-Fünf-Halbleiter Halbleitertechnologie |
| work_keys_str_mv | AT benekingheinz halbleitertechnologieeineeinfuhrungindieprozeßtechnikvonsiliziumundiiivverbindungenmit30tabellenundeinermehrfarbigentafeldesperiodensystemsderelemente |
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Caution: Not in THWS collection!