APA (7th ed.) Citation

Beneking, H. (1991). Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente. Teubner.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in Die Prozeßtechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen ; Mit 30 Tabellen Und Einer Mehrfarbigen Tafel Des Periodensystems Der Elemente. Stuttgart: Teubner, 1991.

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Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in Die Prozeßtechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen ; Mit 30 Tabellen Und Einer Mehrfarbigen Tafel Des Periodensystems Der Elemente. Teubner, 1991.