Mikroelektronische Sensoren:
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Berlin
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1990
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VERLAG TECHNIK BERLIN INHALTSVERZEICHNIS WICHTIGE FORMELZEICHEN 8 1.
MIKROELEKTRONISCHE INTEGRATIONSTECHNIKEN 9 1.1. INTEGRATION VON SENSOREN
9 1.1.1. MESSGROESSENABBILDUNG 9 1.1.2. SENSORARTEN 11 1.1.3.
INTEGRIERBARKEIT 13 1.1.4. INTEGRIERTE SENSORSYSTEME 14 1.2.
KONSTRUKTIONSELEMENTE 15 1.2.1. ENTWURFSREGELN UND ENTWURFSABLAUF 15
1.2.2. SENSORKONTAKTE 17 1.2.3. LEITBAHNEN FUER SENSOREN 21 1.2.4.
WIDERSTANDSBAHNEN FUER SENSOREN 29 1.2.5. RC-ANORDNUNGEN FUER SENSOREN 32
1.2.6. KAPAZITAETEN FUER SENSOREN 43 1.2.7. FEHLERTOLERIERENDE SENSOREN
44 1.2.8. TESTSTRUKTUREN 46 1.3. HERSTELLUNGSVERFAHREN 50 1.3.1.
SCHEIBENPROZESSE 50 1.3.2. SCHICHTHERSTELLUNG UND DOTIERUNG 51 1.3.3.
KONTAKTIERUNGSVERFAHREN 58 1.3.4. STRUKTURIERUNGSTECHNIKEN 58 1.3.5.
MONTAGETECHNIKEN 68 1.3.6. TECHNOLOGISCHES DREHBUCH 75 1.3.7.
KONFEKTIONIERUNG 77 2. SENSOREN 87 2.1. THERMOSENSOREN 87 2.1.1.
OHMSCHER WIDERSTAND 87 2.1.2. PN-UEBERGANG 90 2.1.3. INTEGRIERTE
SCHALTUNG 92 2.1.4. THERMOELEMENT 92 2.1.5. TEMPERATURSTRAHLER 96 2.2.
MECHANOSENSOREN 96 2.2.1. DEHNUNGSMESSSTREIFEN 96 2.2.2. KAPAZITIVER
SI-DRUCKSENSOR 101 2.2.3. MIKROMECHANISCHER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR 103
2.2.4. SILIZIUMVIBRATIONSSENSOR 104 2.2.5. KANDASENSOR 105 2.2.6.
AOW-KRAFT- UND DRUCKSENSOR 105 2.2.7. TAKTILER OPTOELEKTRONISCHER SENSOR
109 2.2.8. TAKTILER KAPAZITIVER SENSOR 111 INHALTSVERZEICHNIS 7 2.3.
CHEMOSENSOREN ILL 2.3.1. HALBLEITERWIDERSTANDSSENSOR ILL 2.3.2.
MIS-KAPAZITAETSSENSOR 113 2.3.3. CHEMFET 118 2.3.4. ELEKTROCHEMISCHE
ZELLEN 123 2.3.5. GASCHROMATOGRAF 127 2.3.6. TAUPUNKTSENSOR 128 2.3.7.
KAPAZITIVER FEUCHTESENSOR 130 2.3.8. SIM 130 2.3.9.
HITZDRAHTSTROEMUNGSSENSOR 130 2.3.10. AOW-GAS- UND FEUCHTESENSOR 133 0
2.4. MAGNETOSENSOREN 137 2.4.1. HALLELEMENT 137 2.4.2. FELDPLATTE 141
2.4.3. MAGNETODIODE 145 2.4.4. MAGNETOTRANSISTOR 147 2.4.5. SQUID 148
2.5. OPTOSENSOREN 149 2.5.1. FOTO WIDERSTAND 149 2.5.2. FOTODIODE UND
FOTOTRANSISTOR 151 2.5.3. FOTOKAPAZITAET 156 2.5.4. CCD-SENSOR 157 2.5.5.
OPTOKOPPLER 157 2.5.6. FASEROPTISCHE SENSOREN 157 2.6. BIOSENSOREN 168
2.6.1. BIOLOGISCHE REZEPTOREN 168 2.6.2. BIOTRANSDUCER 171 2.6.3.
BIOCHEMISCHE SENSOREN 176 2.6.4. BIOPHYSIKALISCHE SENSOREN 176 3.
INTEGRIERTE MESSGROESSENAUFBEREITUNG 184 3.1. FREQUENZANALOGE
MESSGROESSENWANDLUNG 184 3.2. MITTELBARE MESSGROESSEN 190 3.3.
MESSGROESSENKORREKTUREN 198 3.3.1. LINEARISIERUNG UND KALIBRIERUNG 198
3.3.2. DYNAMIKKORREKTUR 202 3.4. OBJEKTERKENNUNG 204 3.4.1.
MULTISENSOREN 204 3.4.2. KOMPLEXSENSOREN 213 3.4.3. SENSORENSPEICHER 217
3.4.4. SENSORENPROZESSOR 219 REGISTER 233 -,
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