(1990). Handbuch der Schicht-, Oberflächen- und Halbleitertechnik: SchOHT. VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Handbuch Der Schicht-, Oberflächen- Und Halbleitertechnik: SchOHT. Düsseldorf: VDI-Verl, 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Handbuch Der Schicht-, Oberflächen- Und Halbleitertechnik: SchOHT. VDI-Verl, 1990.
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