Burghause, H. (1989). Auflösungsgrenzen bei der Reparatur von opaken Defekten auf 1: 1-Röntgenmasken für hochintegrierte Speicherbauelemente.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Burghause, Helmut. Auflösungsgrenzen Bei Der Reparatur Von Opaken Defekten Auf 1: 1-Röntgenmasken Für Hochintegrierte Speicherbauelemente. 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Burghause, Helmut. Auflösungsgrenzen Bei Der Reparatur Von Opaken Defekten Auf 1: 1-Röntgenmasken Für Hochintegrierte Speicherbauelemente. 1989.
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