Raster-Elektronenmikroskopie:
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Springer
1977
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| adam_text | L.REIMER G.PFEFFERKORN T * RASTER- ELEKTRONENMIKROSKOPIE ZWEITE,
NEUBEARBEITETE UND ERWEITERTE AUFLAGE MIT 146 ABBILDUNGEN
SPRINGER-VERLAG BERLIN HEIDELBERG NEW YORK 1977 INHALT 1. EINLEITUNG
1.1. PRINZIPIELLE WIRKUNGSWEISE UND BETRIEBSARTEN EINES
RASTER-ELEKTRONEN- MIKROSKOPES (SEM) 1 1.2. VERGLEICH DES
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPES MIT DEM LICHTMIKROSKOP UND
TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOP 3 1.3. VERGLEICH DES
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPES MIT ANDEREN ELEKTRONEN- STRAHLGERAETEN 9
LITERATUR ZU § 1 14 MONOGRAPHIEN, TAGUNGSBAENDE UND BIBLIOGRAPHIEN 14 2.
WECHSELWIRKUNG ELEKTRON-MATERIE 2.1. EINLEITUNG 16 2.2.
ELEKTRONENSTREUUNG AM EINZELATOM 17 2.2.1. ELASTISCHE STREUUNG 17 2.2.2.
UNELASTISCHE STREUUNG 18 2.3. STREUUNG IN EINER DURCHSTRAHLBAREN SCHICHT
21 2.3.1. WINKELVERTEILUNG GESTREUTER ELEKTRONEN 21 2.3.2. TRANSMISSION
ALS FUNKTION DER BEOBACHTUNGSAPERTUR 23 2.3.3. ORTSVERTEILUNG GESTREUTER
ELEKTRONEN 24 2.3.4. ENERGIEVERTEILUNG GESTREUTER ELEKTRONEN 25 2.4.
ELEKTRONENDIFFUSION IN KOMPAKTEM MATERIAL 28 2.4.1. TRANSMISSION UND
REICHWEITE 28 2.4.2. AUSDEHNUNG DER DIFFUSIONSWOLKE 31 2.4.3.
IONISATIONSDICHTE UND TIEFENDOSISKURVE 33 2.5. RUECKSTREUUNG UND
SEKUNDAERELEKTRONEN-EMISSION 34 2.5.1. DEFINITION UND MESSUNG DIESER
GROESSEN 34 2.5.2. RUECKSTREUKOEFFIZIENT EINER DUENNEN SCHICHT,
AUSTRITTSTIEFE . . . . 36 2.5.3. RUECKSTREUKOEFFIZIENT VON KOMPAKTEM
MATERIAL . . . . . . . . 37 2.5.4. RICHTUNGS- UND ENERGIEVERTEILUNG
RUECKGESTREUTER ELEKTRONEN . . 40 2.5.5. AUSBEUTE, ENERGIE UND
AUSTRITTSTIEFE DER SEKUNDAERELEKTRONEN . . 41 2.5.6. BEITRAG DER
RUECKGESTREUTEN ELEKTRONEN ZUR SEKUNDAERELEKTRONEN- AUSBEUTE 45 2.5.7.
RAUSCHEN DER SEKUNDAERELEKTRONENEMISSION 45 VIII INHALT 2.6. AUSBREITUNG
DER ELEKTRONEN IN KRISTALLEN 47 2.6.1. DAS ELEKTRONENWELLENFELD IN EINEM
KRISTALL . 47 2.6.2. BEUGUNG IN TRANSMISSION 51 2.6.3. EINFLUSS DER
BEUGUNG AUF DIE RUECKSTREUUNG . 54 LITERATUR ZU § 2 56 3.
ELEKTRONENOPTIK, AUFBAU UND FUNKTION DES RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPES
3.1. ELEKTRONENOPTISCHE GRUNDLAGEN 60 3.1.1. ELEKTRONENSTRAHLERZEUGUNG
60 3.1.2. ELEKTRONENLINSEN 63 3.1.3. LINSENFEHLER 64 3.1.4. KLEINSTER
DURCHMESSER DER ELEKTRONENSONDE 67 3.1.5. OPTIMALE ELEKTRONENENERGIE 69
3.2. ABRASTERUNG UND FOKUSSIERUNG 70 3.2.1. ERZEUGUNG DES RASTERS 70
3.2.2. SCHAERFENTIEFE 72 3.2.3. FOKUSSIERUNG UND ASTIGMATISMUSKORREKTUR
74 3.3. OBJEKTVERAENDERUNGEN DURCH ELEKTRONENBESCHUSS 76 3.3.1.
KONTAMINATION 76 3.3.2. OBJEKTERWAERMUNG 78 3.3.3. STRAHLENSCHAEDEN 79
3.3.4. AUFLADUNGSERSCHEINUNGEN . . : 79 3.3.5. BEEINFLUSSUNG
INTEGRIERTER SCHALTUNGEN DURCH DEN ELEKTRONENSTRAHL 83 3.4. OBJEKTKAMMER
UND DETEKTOREN 84 3.4.1. OBJEKTHALTERUNG UND -MANIPULATION 84 3.4.2.
DIREKTE ELEKTRONENSTROMMESSUNG 86 3.4.3.
SZINTILLATOR-PHOTOMULTIPLIER-KOMBINATION 86 3.4.4.
KANAL-SEKUNDAERELEKTRONENVERVIELFACHER 89 3.4.5. HALBLEITER-DETEKTOREN 90
3.4.6. EINFLUSS DER PROBEN-DETEKTOR-GEOMETRIE 91 3.5. ELEKTRONIK UND
BILDAUFZEICHNUNG 95 3.5.1. ELEKTRONISCHE SIGNALVERARBEITUNG 95 3.5.2.
EINFLUSS DER ZEILENSTRUKTUR AUF DAS BILD 101 3.5.3. AUFZEICHNUNG
DYNAMISCHER VORGAENGE 103 3.6. SPEZIELLE TECHNIKEN DER
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPIE 104 3.6.1.
SPIEGEL-RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPIE 104 3.6.2. MIKROMINIATURISIERUNG
MIT EINEM RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOP . 105 LITERATUR ZU § 3 106 4.
ABBILDUNG MIT SEKUNDAER-, RUECKSTREUELEKTRONEN UND PROBENSTROEMEN 4.1.
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 109 4.1.1. KONTRAST DURCH FLAECHENNEIGUNG
(RELIEFKONTRAST) 109 INHALT IX 4.1.2. KONTRAST DURCH ABSCHATTUNG 113
4.1.3. KONTRAST DURCH ERHOEHTE EMISSION AN KANTEN UND DURCHSTRAHL- BAREN
OBJEKTSTRUKTUREN 115 4.2. MATERIALKONTRAST 118 4.2.1. KONTRAST DURCH
VARIATION DES RUECKSTREUKOEFFIZIENTEN . . . . .118 4.2.2. PROBENSTROMBILD
122 4.3. AUFLOESUNGSGRENZE UND INFORMATIONSTIEFE 123 4.3.1.
AUFLOESUNGSGRENZE MIT SEKUNDAERELEKTRONEN . 123 4.3.2. ABHAENGIGKEIT DES
INFORMATIONSVOLUMENS VON DER ELEKTRONENENERGIE 127 4.3.3. VERBESSERUNG
DER AUFLOESUNG MIT RUECKSTREUELEKTRONEN 129 4.4. CHANNELLING-DIAGRAMME UND
KRISTALLORIENTIERUNGSKONTRAST 130 4.4.1. ERZEUGUNG DER
CHANNELLING-DIAGRAMME . 130 4.4.2. GEOMETRIE UND INTENSITAET DER
CHANNELLING-DIAGRAMME . . . .134 4.4.3. ANWENDUNG VON
CHANNELLING-DIAGRAMMEN . 136 4.4.4. KRISTALLORIENTIERUNGSKONTRAST 140
4.5. ABBILDUNG UND MESSUNG ELEKTRISCHER POTENTIALE 142 4.5.1. ENTSTEHUNG
DES POTENTIALKONTRASTES IM SEKUNDAERELEKTRONENBILD . 142 4.5.2.
QUANTITATIVE POTENTIALMESSUNG . 144 4.5.3. POTENTIALKONTRAST
INTEGRIERTER HALBLEITERSCHALTUNGEN 146 4.5.4. STROBOSKOPISCHE METHODEN
149 4.5.5. POTENTIALKONTRAST VON PIEZOELEKTRISCHEN UND FERROELEKTRISCHEN
KRISTALLEN . 150 4.6. ABBILDUNG UND MESSUNG MAGNETISCHER OBJEKTFELDER
151 4.6.1. BEEINFLUSSUNG DER SEKUNDAERELEKTRONEN DURCH MAGNETISCHE STREU-
FELDER (MAGNETISCHER KONTRAST TYP I) 151 4.6.2. BEEINFLUSSUNG DER
RUECKSTREUELEKTRONEN DURCH INTERNE MAGNET- FELDER (MAGNETISCHER KONTRAST
TYP II) 153 4.6.3. ABLENKUNG DER PRIMAERELEKTRONEN IN MAGNETISCHEN
FELDERN . . . 154 4.7. ABBILDUNG MIT INTERNEN PROBENSTROEMEN UND
ELEKTROMOTORISCHEN KRAEFTEN 155 4.7.1. ERZEUGUNG UND TRENNUNG VON
LADUNGSTRAEGERN IN HALBLEITERN . .155 4.7.2. ABBILDUNG VON PN-UEBERGAENGEN
157 4.7.3. ABBILDUNG VON KRISTALLBAUFEHLERN 161 4.7.4. MESSUNG VON
HALBLEITERKONSTANTEN . 161 4.7.5. ABBILDUNG VON
WIDERSTANDSINHOMOGENITAETEN 163 LITERATUR ZU § 4 164 5.
RASTER-TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOPIE 5.1. SPEZIELLE EIGENSCHAFTEN
DER RASTERTRANSMISSION 168 5.1.1. DAS REZIPROZITAETSPRINZIP 168 5.1.2.
VORTEILE DES RASTERPRINZIPS IN DER TRANSMISSION 170 5.2. REALISIERUNG
DES TRANSMISSIONSBETRIEBES 172 5.2.1. TRANSMISSION IN EINEM
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOP 172 5.2.2. RASTERZUSATZ IN EINEM
TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOP . .174 X INHALT 5.2.3. DAS
RASTER-TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOP NACH CREWE . .175 5.2.4.
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPIE MIT HOHEN SPANNUNGEN . . . .178 5.3.
ANWENDUNG DER RASTER-TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOPIE . . .179 5.3.1.
DURCHSTRAHLUNG DICKER OBJEKTSCHICHTEN 179 5.3.2. ELEKTRONENBEUGUNG IM
RASTER-TRANSMISSIONSBETRIEB 181 5.3.3. ABBILDUNG KRISTALLINER OBJEKTE
182 LITERATUR ZU § 5 184 6. ELEMENTANALYSE UND ABBILDUNG MIT EMITTIERTEN
QUANTEN UND AUGERELEKTRONEN 6.1. GRUNDLAGEN DER ROENTGENEMISSION 186
6.1.1. DIE ROENTGENBREMSSTRAHLUNG 186 6.1.2. DAS LINIENSPEKTRUM 187
6.1.3. ABSORPTION DER ROENTGENSTRAHLUNG 191 6.2. WELLENLAENGEN-UND
ENERGIEDISPERSIVE ROENTGENANALYSE 192 6.2.1. WELLENLAENGENDISPERSIVE
METHODE MIT KRISTALLMONOCHROMATOR . 192 6.2.2. PROPORTIONALZAEHLROHR FUER
WELLENLAENGEN- UND ENERGIEDISPERSIVE ANALYSE 193 6.2.3. SI(LI)-DETEKTOR
FUER ENERGIEDISPERSIVE ANALYSE 194 6.2.4. VOR- UND NACHTEILE DER
WEILENLAENGEN- UND ENERGIEDISPERSIVEN METHODEN FUER DIE
RASTER-ELEKTRONENMIKROSKOPIE . 198 6.3. GRUNDLAGEN DER
ROENTGENMIKROANALYSE 199 6.3.1. AUFLOESUNG UND TIEFENINFORMATION 199
6.3.2. METHODEN DER QUANTITATIVEN ROENTGENMIKROANALYSE 201 6.3.3.
BEGRENZUNG DER ANALYSE DURCH DIE ZAEHLSTATISTIK 204 6.4. AUSNUTZUNG DER
BEUGUNG UND ABSORPTION DER ROENTGENSTRAHLUNG . . . 206 6.4.1.
KOSSEL-DIAGRAMME 206 6.4.2. ROENTGENPROJEKTIONSMIKROSKOPIE 207 6.5.
ANDERE VERFAHREN DER ELEMENTANALYSE 208 6.5.1. ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
IM RASTERMIKROSKOP 208 6.5.2. AUGERELEKTRONEN- (AES) UND
SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROSKOPIE (SIMS) 209 6.5.3.
ENERGIEVERLUSTSPEKTROSKOPIE MIT TRANSMITTIERTEN ELEKTRONEN . .211 6.6.
KATHODOLUMINESZENZ 212 6.6.1. ENTSTEHUNG DER KATHODOLUMINESZENZ 212
6.6.2. APPARATIVE GRUNDLAGEN DER KATHODOLUMINESZENZ 214 6.6.3.
KATHODOLUMINESZENZ VON ANORGANISCHEN OBJEKTEN UND HALBLEITERN 217 6.6.4.
KATHODOLUMINESZENZ ORGANISCHER UND BIOLOGISCHER OBJEKTE . .218 LITERATUR
ZU § 6 219 7. AUSWERTEMETHODEN RASTERELEKTRONENMIKROSKOPISCHER AUFNAHMEN
7.1. ERMITTLUNG DER DREIDIMENSIONALEN STRUKTUR 223 7.1.1. UEBERSICHT DER
STEREOMETHODEN 223 INHALT XI 7.1.2. MESSUNG DER PARAMETER UND
EXPERIMENTELLE GRENZEN IN STEREO- BILDPAAREN 225 7.1.3. VISUELLE
BETRACHTUNG VON STEREO-BILDPAAREN 229 7.2. STEREOMETRIE -. 229 7.3.
OPTISCHE TRANSFORMATIONEN 234 LITERATUR ZU §7 236 8. PRAEPARATION 8.1.
EINLEITUNG 237 8.2. PRAEPARATMONTAGE UND OBERFLAECHENVORBEREITUNG 237
8.2.1. PRAEPARATMONTAGE 237 8.2.2. OBERFLAECHENVORBEREITUNG 238 8.3.
STABILISIERUNG DER OBJEKTE 239 8.3.1. UEBERSICHT DER METHODEN 239 8.3.2.
FIXIERUNG 243 8.3.3. ENTWAESSERUNG UND LUFTTROCKNUNG 245 8.3.4.
KRITISCHE-PUNKT-TROCKNUNG (CPD) 245 8.3.5. GEFRIERSCHOCK UND
GEFRIERTROCKNUNG 250 8.3.6. KUEHLTISCHMETHODE 252 8.4. KLEINE TEILCHEN
UND DURCHSTRAHLBARE PRAEPARATE 253 8.5. ABDRUCKVERFAHREN 255 8.5.1.
OBERFLAECHENABDRUECKE 255 8.5.2. INJEKTIONSABDRUECKE . 256 8.6. VERMEIDUNG
VON AUFLADUNGEN 257 8.6.1. HOCHVAKUUMBEDAMPFUNG 257 8.6.2.
KATHODENZERSTAEUBUNG 259 8.6.3. ANTISTATIKA 260 8.6.4. BEHANDLUNG MIT OS0
4 260 8.7. ERWEITERUNG DER BILDINFORMATION 261 8.7.1. SCHRAEGBEDAMPFUNG
261 8.7.2. CHEMISCHE KONTRASTIERUNG UND HISTOCHEMISCHE METHODEN . . .
263 8.7.3. TROCKEN- UND GEFRIERBRUCH BIOLOGISCHER OBJEKTE 265 8.7.4.
CHEMISCHE AETZUNG 265 8.7.5. IONENAETZUNG 266 8.7.6. MECHANISCHE
DEFORMATION UND FRAKTOGRAPHIE 268 8.7.7. PRAEPARATE MIT EBENER
UNTERSUCHUNGSFLAECHE 269 LITERATUR ZU § 8 271 SACHVERZEICHNIS 275
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