Bisschops, T. H. (1987). Investigations on an RF-plasma related to plasma etching.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bisschops, Theodorus H. Investigations on an RF-plasma Related to Plasma Etching. 1987.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bisschops, Theodorus H. Investigations on an RF-plasma Related to Plasma Etching. 1987.
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