Moderne Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik: ein Überblick
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Berlin [u.a.]
Springer
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Moderne Fertigungsverfahren
der Feinwerktechnik
Ein Überblick
Mit 75 Abbildungen
Bücherei j
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Technische Hochschule Darmstadt
Buch-Nr
Springer-Verlag
Berlin • Heidelberg • New York 1981
Inhaltsverzeichnis
1 Einführung 1
2 Verfahren mit Laserstrahlen 3
2 1 Wirkungsweise 3
2 2 Einrichtungen 5
2 3 Anwendungen 8
3 Verfahren mit Elektronenstrahlen 12
3 1 Wirkungsweise 12
3 2 Einrichtungen 14
3 3 Anwendungen 16
4 Verfahren mit Ultraschall 20
4 1 Allgemeines 20
4 2 Ultraschall-Reinigen 20
4 3 Ultraschall-Schweißen 21
4 4 Ultraschall-Senken 23
5 Funkenerodieren, Elysieren und Metallätzen 25
5 1 Abtragende Verfahren nach DIN 8590 25
5 2 Funkenerodieren 27
5 3 Elysieren 31
5 4 Metallätzen 33
6 Mikrofügen 36
6 1 Problemstellung 36
6 2 Fügen durch Zusammenlegen und Fügen durch Urformen 37
6 3 Elektrische Kontaktverbindungen 39
7 Herstellung von Schichten 46
7 1 Definition und Aufgaben 46
7 2 Vakuumbeschichten und CVD-Verfahren 47
7 3 Metalle und Kunststoffe 55
8 Herstellung von Planarstrukturen 59
8 1 Problemstellung und Definition 59
8 2 Druck- und Lithografieverfahren 60
VII
8 3 Leiterplatten 69
8 4 Dickschicht-, Dünnschicht- und Festkörperschaltungen 76
9 Kristalle und Glas 86
9 1 Grundlagen 86
9 2 Züchten von Kristallen 90
9 3 Bearbeitung von Kristallen und Glas 100
9 4 Glasfasern 104
10 Auswuchtverfahren der Feinwerktechnik 115
10 1 Vorbemerkung 115
10 2 Statische Verfahren 117
10 3 Quasistatische Verfahren 121
10 4 Rotationsverfahren 124
10 5 Konstruktive Gesichtspunkte 128
11 Die Bedeutung der Sondermaschine 131
12 Literatur 139
12 1 Einführung 139
12 2 Verfahren mit Laserstrahlen 139
12 3 Verfahren mit Elektronenstrahlen 146
12 4 Verfahren mit Ultraschall 148
12 5 Funkenerodieren, Elysieren und Metallätzen 152
12 6 Mikrofügen 155
12 7 Herstellung von Schichten 162
12 8 Herstellung von Planarstrukturen 167
12 9 Kristalle und Glas 174
12 10 Auswuchtverfahren der Feinwerktechnik 179
12 11 Die Bedeutung der Sondermaschine 180
Sachverzeichnis 183
VIII
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