Holdings: Einführung in die Technologie der Elektrotechnik, Elektronik

Einführung in die Technologie der Elektrotechnik, Elektronik:

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Bibliographic Details
Main Authors:	Eigler, Hans 1923- (Author), Beyer, Wolfgang (Author)
Format:	Book
Language:	German
Published:	Berlin Verl. Technik 1981
Edition:	1. Aufl.
Subjects:	Elektronik Werkstoff Maschinenbau Technik Fertigung Technologie Vakuumtechnik Elektrotechnik Einführung
Online Access:	Inhaltsverzeichnis
Physical Description:	379 S. graph. Darst.

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adam_text	IMAGE 1 INHALTSVERZEICHNIS TEIL I GRUNDLAGEN DER ALLGEMEINEN UND SPEZIELLEN TECHNOLOGIE DER ELEKTROTECHN &/ELEKTRONIK 1 . UNTERSCHIEDE UND GEMEINSAMKEITEN ZWISCHEN DER TECHNOLOGIE DER ELEKTROTECHNIK1 ELEKTRONIK UND DER DES MASCHINENBAUS ........................................ 15 2 . GESELLSCHAFTLICHE BEDEUTUNG UND AUFGABEN DER TECHNOLOGIE ....................... 17 3 . KENNZEICHNUNG DER TECHNOLOGIE ALS WISSENSCHAFT ................................ 18 3.1. GEGENSTAND UND DEFINITION DER TECHNOLOGIE .................................. 18 3.2. TECHNOLOGISCHER PROZESS. SEINE ELEMENTE UND SEINE GLIEDERUNG ................... 22 3.2.1. TECHNOLOGISCHER PROZESS UND TECHNOLOGISCHES SYSTEM ................... 22 3.2.2. TECHNOLOGISCHER PROZESS ALS HIERARCHISCHES SYSTEM ...................... 23 3.2.3. HIERARCHIE BEI DER DURCHFUEHRUNG EINFACHER TECHNOLOGISCHER PROZESSE ...... 25 4 . SYSTEMATISIEMNG DER TECHNOLOGISCHEN VERFAHREN ................................. 27 4.1. GESICHTSPUNKTE FUER DIE SYSTEMATISIERUNG ...................................... 27 4.2. SYSTEMATISIERUNG DER GRUNDVERFAHREN DER MECHANISCHEN TECHNOLOGIE ............. 29 4.3. SYSTEMATISIERUNG DER GRUNDVERFAHREN DER CHEMISCHEN TECHNOLOGIE ............... 29 4.4. GRUNDVERFAHREN DER ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK ................................ 30 5 . TECHNOLOGISCHE VERFAHREN AUF PHYSIKALISCHER GRUNDLAGE .......................... 34 PROZESSE BEI DER REINIGUNG UND BEARBEITUNG IM VAKUUM ....................... . 5.1 .L. ALLGEMEINES ...................................................... . 5.1.2. GRUNDBEGRIFFE DER KINETISCHEN GASTHEORIE ............................ . 5.1.2.1. ALLGEMEINES ...................................................... . 5.1.2.2. GLEICHGEWICHTSSYSTEME ............................................ . 5.1.2.3. NICHTGLEICHGEWICHTSSYSTEME UND TRANSPORTVORGAENGE ................... . 5.1.3. AUFDAMPFEN IM VAKUUM .......................................... . 5.1.3.1. ALLGEMEINES ...................................................... . 5.1.3.2. VERDAMPFEN ...................................................... . 5.1.3.3. ANZAHL DER MOLEKUELE, DIE AUF DIE SUBSTRATOBERFLAECHE AUFTREFFEN .......... 5.1.3.4. PHAENOMENOLOGISCHE BESCHREIBUNG DER KONDENSATION, ADSORPTION UND DESORPTION ........................................................ 5.1.3.5. EMISSIONSDIAGRAMM UND SCHICHTDICKENVERTEILUNG AUF DEM SUBSTRAT ....... 5.1 J.6. THERMISCHES AUFDAMPFEN IM HOCHVAKUUM ........................... . 5.1.4. GLIMMENTLADUNG .................................................. . 5.1.5. ERZEUGUNG FREIER IONEN ............................................ . 5.1.6. EFFEKTE BEIM BESCHUSS VON FESTKOERPEROBERFIAECHEN MIT IONEN ............. IMAGE 2 8 INHALTSUERZEICHNIS 5.1.6.4. KATODENZERSTAEUBUNG ............................................... 55 5.1.6.5. IONENIMPLANTATION ................................................. 57 5.2. GRUNDLEGENDE PROZESSE BEIM VERBINDEN VON WERKSTOFFEN ....................... 59 5.2.1. UEBERSICHT UEBER DIE VERFAHREN ........................................ 59 5.2.2. VERBINDEN IM FESTEN ZUSTAND: PRESSSCHWEISSEN .......................... 61 5.2.2.1. MOLEKULARKRAEFTE BEI DER AUSBILDUNG DES PHYSIKALISCHEN KONTAKTES, PLASTISCHE DEFORMATION UND DIFFUSION, ETAPPEN BEI DER VERBINDUNGSBILDUNG ......... 61 5.2.2.2. EINZELHEITEN DER PROZESSE BEIM VERBINDEN VON METALLEN IM FESTEN ZUSTAND 63 5.2.2.3. AUSFUEHRUNGSFORMEN DES PRESSSCHWEISSENS .............................. 69 5.2.3. SCHRNELZSCHWEISSEN ................................................. 73 5.2.3.1. UEBERSICHT UEBER DIE VERFAHREN UND HAUPTPROZESSE ...................... 73 5.2.3.2. BEIM SCHMELZSCHWEISSEN VERLAUFENDE HAUPTPROZESSE .................... 73 5.2.3.3. GASFLAMME ALS WAERMEQUELLE ......................................... 79 5.2.3.4. LICHTBOGEN ALS WAERMEQUELLE ......................................... 81 5.2.3.5. STRAHLEN ALS WAERMEQUELLE ........................................... 87 5.2.4. LOETEN ............................................................ 91 5.2.4.1. ALLGEMEINES ....................................................... 91 5.2.4.2. GRUNDLEGENDE PROZESSE, ADHAESION, FREIE OBERFIAECHENENERGIE, KOHAESION .... 92 5.2.4.3. ERSTES STADIUM BEIM LOETEN. DAS BENETZEN ............................. 93 5.2.4.4. WECHSELWIRKUNG ZWISCHEN LOT UND WERKSTUECK, DIFFUSION UND LOESEN BEIM LOETEN ............................................................ 97 5.2.4.5. LOTE UND FLUSSMITTEI ............................................ 99 5.2.4.6. BEEINFLUSSUNG DES LOETENS DURCH ULTRASCHALL ............................ 103 5.2.4.7. LOETEN VON METALL, GLAS UND KERAMIK ................................ 103 5.2.5. KLEBEN ........................................................... 104 5.2.5.1. ALLGEMEINES ....................................................... 104 5.2.5.2. KLEBSTOFFE ......................................................... 105 5.2.5.3. KLEBVERBINDUNGEN ................................................. 107 5.2.5.4. HERSTELLEN DER KLEBVERBINDUNG ....................................... 109 6 . TECHNOLOGISCHE VERFAHREN AUF CHEMISCHER. ELEKTROCHEMISCHER UND ELEKTROPHYSIKALISCHER GRUNDIAGE ................................................................. 111 6.1. ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE ............................................... 111 6.1.1. THERMODYNAMIK UND KINETIK DER ABSCHEIDUNG ........................ 111 6.1.1.1. ALLGEMEINES ....................................................... 111 6.1.1.2. ZUSAMMENSTELLUNG EINIGER THERMODYNAMISCHER BEZIEHUNGEN ............. 112 6.1.1.3. KINETIK DER SCHICHTBILDUNG .......................................... 115 6.1.2. ABSCHEIDUNG DUENNER SCHICHTEN AUS DER GASPHASEIEPITAXIE ................ 117 6.2. METALLISIEREN DIELEKTRISCHER SCHICHTEN DURCH EINBRENNEN VON PASTEN .............. 121 6.2.1. STELLUNG DES VERFAHRENS .. : .......................................... 121 6.2.2. ZUSAMMENSETZUNG DER PASTEN ........................................ 121 6.2.3. SIEBDRUCK ......................................................... 122 6.2.4. EINBRENNEN DER PASTEN .............................................. 122 6.3. KATODISCHE UND STROMLOSE ABSCHEIDUNG VON METALLEN .......................... 123 6.3.1. STELLUNG DER VERFAHREN .............................................. 123 6.3.2. PHYSIKALISCHE UND CHEMISCHE GRUNDLAGEN ............................. 124 6.3.3. ARTEN UND BESONDERHEITEN DER KATODISCHEN UND DER STROMIOSEN ABSCHEIDUNG DUENNER METALLSCHICHTEN (BEISPIELE) .................................. . 128 6.3.3.1. KATODISCHE ABSCHEIDUNG AUF METALLEN ................................ 128 6.3.3.2. ARTEN DER GESAMTSTROMLOSEN ABSCHEIDUNG VON METALLEN ................. 130 6.3.3.3. METALFISIEREN VON DIELEKTRIKA. BESONDERS VON PLASTEN ................... 132 IMAGE 3 9 INHALTSVERZEICHNIS 6.3.3.4. KORROSIONSSCHUTZ DURCH METALLISCHE DECKSCHICHTEN ..................... 132 6.3.3.5. GALVANOPLASTIK .................................................... 135 HERSTELLUNG VON DECKSCHICHTEN UNTER BETEILIGUNG DES SUBSTRATS .................. 136 6.4.1. ALLGEMEINES UEBER DECKSCHICHTEN. DIE UNTER BETEILIGUNG DES SUBSTRATS ENT- STEHEN ............................................................ 136 6.4.2. PASSIVIEREN. CHEMISCHE UND ANODISCHE OXYDATION VON METALLEN ........... 136 6.4.3. PHOSPHATIEREN. CHROMATIEREN ........................................ 139 6.4.4. THERMISCHE OXYDATION VON SI ....................................... 140 6.4.5. DIFFUSION VON DER OBERFLAECHE EINES FESTKOERPERS ........................ 141 6.4.5.1. STELLUNG DES VERFAHRENS ............................................. 141 6.4.5.2. LOESUNGEN DER FICKSCHEN GLEICHUNGEN FUER EINIGE WICHTIGE FAELLE ........... 142 6.4.5.3. EINDIFFUSION VON P. B. AS, AU IN SI .................................. 144 FOTOMASKEN- UND LACKTECHNIK. AETZEN VON METALLEN UND HALBLEITERN. MIKROSTRUKTUREN 146 6.5.1. STELLUNG DER VERFAHREN .............................................. 146 6.5.2. AETZ- UNDELEKTROPLATTIERMASKENHERSTELLUNG DURCH FOTOLITHOGRAFISCHEUND SIEB- DRUCKVERFAHREN .................................................... 147 6.5.2.1. PRINZIP DER FOTOLITHOGRAFISCHEN VERFAHREN .............................. 147 6.5.2.2. FOTOLACKE ......................................................... 148 6.5.2.3. ARBEITSGAENGE DES FOTOLITHOGRAFISCHEN PROZESSES ......................... 150 6.5.2.4. ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAFIE .......................................... 152 6.5.2.5. ROENTGENSTRAHLLITHOGRAFIE ............................................ 153 6.5.2.6. SIEBDRUCK ........................................................ 153 6.5.3. AETZEN BEI DER FERTIGUNG VON ERZEUGNISSEN DER ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK ... 154 6.5.3.1. FORMTEILAETZEN ..................................................... 154 6.5.3.2. AETZEN VON METALLFILMEN ............................................. 155 6.5.3.3. HALBLEITERAETZUNG ................................................... 158 6.5.3.4. CHEMISCHE UND ELEKTROLYTISCHE ENTZUNDERUNG .......................... 161 6.5.4. CHEMISCHE REINIGUNG DER OBERFLAECHE DES WERKSTUECKS/SUBSTRATS VON STAUB, FETTSCHICHTEN UND BEARBEITUNGSRUECKSTAENDEN ............................ 163 6.5.4.1. ARTEN VON VERUNREINIGUNGEN, HAUPTREINIGUNGSMETHODEN ................ 163 6.5.4.2. ENTFETTEN DURCH BILDUNG EINER EMULSION ............................... 164 6.5.4.3. ENTFERNEN VON FETT UND OEL MIT ORGANISCHEN LOESUNGSMITTELN ............. 165 6.5.4.4. REINIGEN VON POLAREN VERUNREINIGUNGEN, LOSE HAFTENDEM STAUB UND BEARBEI- TUNGSRUECKSTAENDEN .................................................. 166 ELEKTROPHORESE ............................................................ 167 ELYSIEREN. ERODIEREN ...................................................... 168 6.7.1. STELLUNG DER VERFAHREN .............................................. 168 6.7.2. ELYSIEREN ......................................................... 169 6.7.3. ERODIEREN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170 TECHNOLOGISCHE VERFAHREN AUF PHYSIKALISCH-MECHANISCHER G~NDIAGE . . . . . . . . . . . . . . . . 172 VERFAHREN DES URFORMENS ZUR HERSTELLUNG VON EINZELTEILEN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173 7.1.1. DEFINITION. ALLGEMEINES ............................................. 173 7.1.2. VERFAHRENSVARIANTEN DES URFORMENS .................................. 173 7.1.2.1. URFORMEN AUS DEM FLUESSIGEN ZUSTAND. EINFLUSSGROESSEN. ANWENDUNGSMOEGLICH . KEITEN ............................................................ 173 7.1.2.2. URFORMEN AUS DEM FESTEN ZUSTAND. EINFLUSSGROESSEN. ANWENDUNGSMOEGLICH- KEITEN ............................................................ 176 UMFORMENDE UND ZERTEILENDE BEARBEITUNG VON HALBZEUGEN ....................... 179 7.2.1. UMFORMEN ........................................................ 180 7.2.2. ZERTEILEN .......................................................... 189 IMAGE 4 7.3. HERSTELLUNG UND BEARBEITUNG VON EINZELTEILEN AUF SPANGEBENDEN WERKZEUGMASCHINEN 193 7.3.1. ALLGEMEINES. SYSTEMATISIERUNG ....................................... 193 7.3.2. SPANEN ........................................................... 193 7.3.2.1. ALLGEMEINES. DEFINITION ............................................. 193 7.3.2.2. SPANEN MIT GEOMETRISCH BESTIMMTER SCHNEIDE. SCHNEIDENGEOMETRIE. SPAN- BILDUNG ........................................................... 194 7.3.2.3. SCHNITTKRAFT UND SCHNITTLEISTUNG ...................................... 197 7.3.2.4. SPANEN MIT GEOMETRISCH UNBESTIMMTER SCHNEIDE ........................ 198 7.3.3. ABTRAGEN ......................................................... 199 7.4. HERSTELLUNG VON MAGNETISCHEN KREISEN ....................................... 200 7.4.1. ALLGEMEINES. DEFINITION. ANWENDUNGS- UND EINSATZGEBIETE ............... 200 7.4.2. WERKSTOFFE FUER MAGNETISCHE KREISE UND IHRE EIGENSCHAFTEN ............... 201 7.4.3. HERSTELLUNG VON GEWICKELTEN MAGNETISCHEN KREISEN ..................... 203 7.4.4. HERSTELLUNG VON GESCHICHTETEN MAGNETISCHEN KREISEN .................... 206 7.5. HERSTELLUNG VON SPULEN ..................................................... 207 7.5.1. ALLGEMEINES. DEFINITION. ANWENDUNGS- UND EINSATZGEBIETE ............... 207 7.5.2. WICKELN VON SPULEN ................................................ 208 7.5.2.1. WICKELN VON RUNDDRAHT ............................................ 208 7.5.2.2. WICKELN VON FFACHDRAHT UND FOLIE ................................... 210 7.5.3. ISOLATION DER WICKLUNGEN ........................................... 211 7.5.4. TROCKNEN UND TRAENKEN DER WICKLUNGEN ............................... 213 7.5.4.1. ALLGEMEINES, BEDEUTUNG DES TROCKNENS IYND TRAENKENS .................. 213 7.5.4.2. TROCKNEN DER WICKLUNG ............................................. 214 7.5.4.3. TRAENKENDER WICKLUNG .............................................. 215 7.5.4.4. ARBEITSFOLGE BEIM VAKUUMTRAENKEN VON WICKELTEILEN .................... 217 7.6. OBERFLAECHENSCHUTZ ELEKTROTECHNISCHER ERZEUGNISSE .............................. 218 7.6.1. ALLGEMEINES ....................................................... 218 7.6.2. SPRITZEN .......................................................... 219 7.6.2.1. SPRITZEN METALLISCHER OBERZUEGE ...................................... 219 7.6.2.2. SPRITZEN NICHTMETALLISCHER UBERZUEGE (LACK- UND FARBFILME) .............. 221 7.6.3. BESCHICHTEN DURCH PLASTPULVER ....................................... 221 7.7. VERDRAHTUNGSVERFAHREN ..................................................... 223 7.7.1. ALLGEMEINES ....................................................... 223 7.7.2. VERDRAHTUNGSARTEN ................................................. 223 7.7.2.1. FREI- ODER ZWECKVERDRAHTUNG ........................................ 224 7.7.2.2. BUENDELVERDRAHTUNG ................................................. 225 7.7.2.3. FORMKABELVERDRAHTUNG ............................................. 226 7.7.2.4. KANALVERDRAHTUNG ................................................. 227 7.7.2.5. VERDRAHTUNG MIT BANDLEITUNGEN ...................................... 228 7.7.2.6. FLEXIBLE GEDRUCKTE VERDRAHTUNG ...................................... 228 7.7.3. VORBEREITUNG DER LEITER ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEN VERBINDUN- GEN UND ANSCHLUESSEN ............................................... 231 7.8. VERBINDUNGS- UND ANSCHIUSSVERFAHREN ......................................... 232 7.8.1. SYSTEMATISIERUNG DER VERFAHREN ...................................... 232 7.8.2. VARIANTEN DER BEARBEITUNGSVERFAHREN UND IHRE EINSATZ- UND ANWENDUNGS- MOEGLICHKEITEN ...................................................... 235 7.8.2.1. ALLGEMEINES ....................................................... 235 7.8.2.2. PRESSVERBINDUNGEN .................................................. 236 7.8.2.3. WICKELVERBINDUNGEN ................................................ 241 7.8.3. VARIANTEN DER BEWEGUNGSVERFAHREN UND IHRE EINSATZ- UND ANWENDUNGS- MOEGLICHKEITEN ..................................................... . 244 IMAGE 5 7.8.3.1. ALLGEMEINES ....................................................... 244 7.8.3.2. KLEMMVERBINDUNGEN ................................................ 245 7.8.3.3. STECKVERBINDUNGEN ................................................ 247 TEIL I1 EINFUEHRUNG IN DIE FERTIGUNGSORGANISATION IM INDNSTRIEBEREICH ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK 8 . CHARAKTERISTISCHE BESONDERHEITEN DER FERTIGUNG IN DEM INDUSTRIEBEREICH ELEKTROTECHNIK/ ELEKTRONIK ................................................................. 252 8.1. EINFUEHRUNG ................................................................ 252 8.2. BESONDERHEITEN ............................................................ 254 9 . GLIEDERUNG DES PRODUKTIONSPROZESSES. BEZOGEN AUF DEN INDUSTRIEBEREICH ELEKTROTECHNIK/ ELEKTRONIK ................................................................ 256 9.1. ALLGEMEINES ............ : .................................................. 256 9.2. DER PRODUKTIONSPROZESS. MOEGLICHKEITEN SEINER GLIEDERUNG ...................... . 9.2.1. GLIEDERUNG NACH DEN ANGEWANDTEN ARBEITSMITTELN ..................... . 9.2.1.1. MANUELL ZU REALISIERENDE PROZESSE ................................... . 9.2.1.2. MASCHINELL ZU REALISIERENDE PROZESSE ................................. . 9.2.2. GLIEDERUNG NACH TECHNOLOGISCHEN MERKMALEN ......................... . 9.2.2.1. TECHNOLOGISCH EINFACHE PROZESSE .................................... . 9.2.2.2. TECHNOLOGISCH KOMPLIZIERTE PROZESSE ................................ . 9.2.3. GLIEDERUNG NACH DEM ZEITLICHEN ABLAUF .............................. . 9.2.3.1. UNTERBROCHENE UND UNUNTERBROCHENE PRODUKTIONSPROZESSE .............. 9.2.3.2. KONTINUIERLICHE UND DISKONTINUIERLICHE PRODUKTIONSPROZESSE ............. 9.2.4. GLIEDERUNG NACH DEN HAUPTETAPPEN DER HERSTELLUNG VON AUTORNATISIERUNGS- UND ELEKTROENERGIEANLAGEN ......................................... 9.2.4.1. ALLGEMEINES ....................................................... 268 9.2.4.2. EINZELTEILFERTIGUNG ................................................. 269 9.2.4.3. WERKSTATTMONTAGE ................................................. 270 9.2.4.4. BAUSTELLERNONTAGE ................................................. 270 10.1. ALLGEMEINES ............................................................... 276 10.2. ZEITLICHE STRUKTUR DES PRODUKTIONSPROZESSES ................................... 277 10.2.1. BESTANDTEILE DER DAUER DES PRODUKTIONSPROZESSES ....................... 277 10.2.2. ZEITGLIEDEMNG NACH TGL 2860-56 .................................... 280 10.2.3. BERECHNUNG DER DURCHLAUFZEIT BEI EINEM TECHNOLOGISCH EINFACHEN PROZESS 285 10.2.4. BESTIMMUNG DER DURCHLAUFZEIT EINES TECHNOLOGISCH KOMPLIZIERTEN PROZESSES 291 10.3.FERTIGUNGSARTEN ............................................................ 294 10.3.1. EINZELFERTIGUNG .................................................... 294 10.3.2. SERIENFERTIGUNG .................................................... 296 10.3.3. MASSENFERTIGUNG ................................................... 297 10.4. FERTIGUNGSPRINZIPIEN ....................................................... 299 10.4.1. VERFAHRENSSPEZIALISIERTE FERTIGUNG .................................... 299 10.4.2. GEGENSTANDSSPEZIALISIERTE FERTIGUNG .................................. 300 IMAGE 6 12 INHALTSVERZEICHNIS 10.6. ENTWICKLUNG DER FERTIGUNGSORGANISATION IN DER METALLVERARBEITENDEN INDUSTRIE DER DDR .................................................................... 309 11 . ENTWURF TECHNOLOGISCHER PROZESSE UND SYSTEME .................................. 311 . 1 I 1. STELLUNG DES ENTWURFS. AUFGABEN UND PROBLEMATIK ............................. 311 11.2. MODELL ZUR LOESUNG DER AUFGABEN BEIM ENTWURF TECHNOLOGISCHER PROZESSE UND SYSTEME 312 1 1.3. AUSWAHL DER VERFAHREN ..................................................... 316 11.3.1. MOEGLICHKEITEN FUER DIE AUSWAHL DER VERFAHREN ......................... 316 11.3.2. TYPISIERUNG TECHNOLOGISCHER PROZESSE ................................. 317 11.3.3. GENERIERENDE METHODE ............................................. 318 11.4. MATHEMATISCHE MODELLIERUNG TECHNOLOGISCHER PROZESSE UND SYSTEME .............. 319 1 1.4.1. AUFGABEN UND ARTEN VON MODELLEN .................................. 319 11.4.2. GENAUIGKEIT, ZUVERLAESSIGKEIT. STABILITAET TECHNOLOGISCHER PROZESSE UND SYSTEME ALS ZIEL DER MODELLIERUNG .................................... 323 11.4.3. ZWEI METHODEN DER MATHEMATISCHEN MODELLIERUNG ..................... 325 11.4.4. AUFSUCHEN OPTIMALER BEDINGUNGEN FUER DEN TECHNOLOGISCHEN PROZESS ....... 328 11.5. MODELLIERUNG TECHNOLOGISCHER PROZESSE MIT HILFE DER EMPFINDLICHKEITSTHEORIE ....... 330 1 1.5.1. KENNZEICHNUNG DER METHODE UND ANWENDUNG ......................... 330 1 I .5. 2. EMPFINDLICHKEITSTHEORIE ............................................. 330 11.5.3. BESTIMMUNG DER EMPFINDLICHKEITSKOEFFIZIENTEN UND DER GENAUIGKEITSKOEF- FIZIENTEN; PARAMETERMASSKETTEN UND PARAMETERFORTPFLANZUNGSGESETZ ........ 332 11.6. MODELLIERUNG TECHNOLOGISCHER PROZESSE MIT HILFE DER VERSUCHSPLANUNG ............ 334 11.6.1. VERSCHIEDENARTIGKEIT DER EXPERIMENTE ................................. 334 11.6.2. POLYNOMANSAETZE UND NORMIERUNG VON POLYNOMEN ...................... 335 11.6.3. EXPERIMENTE NACH KLASSISCHEN UNGESAETTIGTEN VERSUCHSPLAENEN ............. 337 11.6.4. VOLLSTAENDIGE FAKTORIELLE VERSUCHSPLAENE VOM TYP 2K ..................... 339 1 1.6.5. TEILWEISE FAKTORIELLE VERSUCHSPLAENE ................................... 340 11.6.6. STATISTISCHE PRUEFUNG DES EXPERIMENTS ................................. 342 11.6.6.1. KENNZEICHNUNG DER METHODE .........: .............................. 342 11.6.6.2. GENAUIGKEIT UND REPRODUZIERBARKEIT DES VERSUCHS ..................... 342 1 1.6.6.3. SIGNIFIKANZ DER KOEFFIZIENTEN ........................................ 343 1 1.6.6.4. ADAEQUATHEITSTEST ................................................... 344 11.6.7. ZAHLENBEISPIEL UND ALGORITHMUS FUER EINEN VOLLSTAENDIGEN FAKTORIELLEN VER- SUCHSPLAN ......................................................... 346 11.7. MODELLIERUNG TECHNOLOGISCHER PROZESSE UND SYSTEME MIT HILFE DER BEDIENUNGSTHEORIE 350 11.7.1. TECHNOLOGISCHER PROZESS ALS BEDIENUNGSSYSTEM ......................... 350 11.7.2. STRUKTUR EINES BEDIENUNGSSYSTEMS .................................... 352 11.7.3. WAHRSCHEINLICHKEITSTHEORETISCHE BESCHREIBUNG DES FORDERUNGSSTROMES ..... 352 11.7.4. NICHTSTATIONAERE STROEME. STROEME MIT NACHWIRKUNG ...................... 354 11.7.5. BEDIENUNGSZEIT .................................................... 356 11.7.6. STOCHASTISCHE BESCHREIBUNG DER WIRKUNGSWEISE EINES BEDIENUNGSSYSTEMS . . 357 11.7.7. BEISPIELE FUER DIE ANWENDUNG DER BEDIENUNGSTHEORIE .................... 362 11.8. ABSCHAETZUNG DER DYNAMIK VON BEARBEITUNGSPROZESSEN ......................... 365 11.8.1. FORMULIERUNG DER AUFGABE ......................................... 365 11.8.2. UNTERSUCHUNG VON ZUSTANDSAENDERUNGEN MIT HILFE DER EMPFINDLICHKEITS- 365 THEORIE ........................................................... 1 1.8.3. 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