Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1988
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9
82 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Literaturverz. S. 133 - 147. - Zugl.: Dortmund, Univ., Diss. |
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