(1985). VLSI science and technology: 1985 ; proceedings of the 3. Internat. Symposium on .. Electrochemical Soc.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)VLSI Science and Technology: 1985 ; Proceedings of the 3. Internat. Symposium on .. Pennington, NJ: Electrochemical Soc, 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)VLSI Science and Technology: 1985 ; Proceedings of the 3. Internat. Symposium on .. Electrochemical Soc, 1985.
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