Brodie, I., & Muray, J. J. (1982). The physics of microfabrication. Plenum Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Microfabrication. New York (u.a.): Plenum Pr, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Microfabrication. Plenum Pr, 1982.
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