Bieber, M. (1984). Homogene Belichtung mit Hilfe von Spiegeln in der Röntgenstrahllithographie mit Synchrotronstrahlung: Experimentelle Untersuchungen und Modellbeschreibung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bieber, Michael. Homogene Belichtung Mit Hilfe Von Spiegeln in Der Röntgenstrahllithographie Mit Synchrotronstrahlung: Experimentelle Untersuchungen Und Modellbeschreibung. 1984.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bieber, Michael. Homogene Belichtung Mit Hilfe Von Spiegeln in Der Röntgenstrahllithographie Mit Synchrotronstrahlung: Experimentelle Untersuchungen Und Modellbeschreibung. 1984.
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