(1982). Semiconductor growth technology: Jan. 26 - 27, 1982 Los Angeles, Calif. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Semiconductor Growth Technology: Jan. 26 - 27, 1982 Los Angeles, Calif. Bellingham, Washington, USA: SPIE, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Semiconductor Growth Technology: Jan. 26 - 27, 1982 Los Angeles, Calif. SPIE, 1982.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.