APA (7th ed.) Citation

Haberle, K. (1978). Herstellung und Eigenschaften kathodisch aufgestäubter SiO2- und SiO2-polySi-Schichten für die MOS-Technologie.

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Haberle, Klaus. Herstellung Und Eigenschaften Kathodisch Aufgestäubter SiO2- Und SiO2-polySi-Schichten Für Die MOS-Technologie. Aachen, 1978.

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Haberle, Klaus. Herstellung Und Eigenschaften Kathodisch Aufgestäubter SiO2- Und SiO2-polySi-Schichten Für Die MOS-Technologie. 1978.

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