APA (7th ed.) Citation

Fromknecht, R. (1988). Trockenätzen von Niobschichten mit CF/O- und SF/O-Plasmen CF4/O2- und SF6/O2-Plasmen.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Fromknecht, Rainer. Trockenätzen Von Niobschichten Mit CF/O- Und SF/O-Plasmen CF4/O2- Und SF6/O2-Plasmen. 1988.

MLA (9th ed.) Citation

Fromknecht, Rainer. Trockenätzen Von Niobschichten Mit CF/O- Und SF/O-Plasmen CF4/O2- Und SF6/O2-Plasmen. 1988.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.