Fromknecht, R. (1988). Trockenätzen von Niobschichten mit CF/O- und SF/O-Plasmen CF4/O2- und SF6/O2-Plasmen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fromknecht, Rainer. Trockenätzen Von Niobschichten Mit CF/O- Und SF/O-Plasmen CF4/O2- Und SF6/O2-Plasmen. 1988.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Fromknecht, Rainer. Trockenätzen Von Niobschichten Mit CF/O- Und SF/O-Plasmen CF4/O2- Und SF6/O2-Plasmen. 1988.
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