Entwicklungstrends in der Reinraumtechnik: Tagungsbericht der VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung ; Tagung Stuttgart, 13. bis 15. September 1989
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Düsseldorf
VDI-Verl.
1989
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Autor:
Jahr: 1989
Inhalt
K. Fitzner
R. Detzer
H. fißan und
A Trampe
R. Geilleit
P. Ehrler,
G. Schmeer-Lioe
und G. Stauch
W. Labuda
H. Laub und
R. Simon
Th. von Kahlden
und HJ. Wamecke
W. Semer
H. Eidam
H.H. Schicht
AL Möller
J.Ertl
A Gödde
ESodec
H.U Krauss
D. Barte
J. Hartwig
P. Ehrler und
G. Schmeer-Lioe
C Gerber
Seite
Gleichmäßige Luftabsaugung aus großflächigen
Reinräumen mit Treibdüsen 1
Partikelausbreitung in Reinräumen 21
Zur Messung von Partikelströmen in Reinen Technologien 29
Oberflächenreinheit für Staubpartikel größer 1 /zm 55
Experimentelle Untersuchungen zur Partikelabgabe
von Reinraumbekleidung 67
Qualitätssicherung beim Reinraum-Verbrauchsmaterial 101
Neuartige Reinraumkonzeptionen der Klassen 2,1 und 0 129
Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung
bei Fertigungsgeräten 147
Kontamination durch Pinholes 165
Energieeinsparung mit Hochleistungs-Radialventilatoren 187
Reinraumtechnik in der Schweiz 197
Use of cleanrooms in the Nordic countries 213
Die Halbleiterfertigung auf dem Weg zum 64 Megabit-Chip 225
Handhabungsgeräte und -Systeme in Reinräumen
der Halbleiter-Fertigung des Werkes Sindelfingen 243
Reinraumtechnik bei der Herstellung von Compact Discs 253
Physiologische Anforderungen an Reinraumkleidung -
Einfluß der Bekleidung und der äußeren Bedingungen
auf den Menschen 267
Anforderungen und Aufbereitungstechnik von Reinsfwasser 269
Erfahrungen mit derEndreinigung undTrocknung von Wafern
mitHeiß-DI-Wasser 291
Nachtrag zur Tagung .Problemlösungen in der Reinraum-
fechnik*. München 3./4. November 1988 tVDI-Bericht 693)
Prüfverfahren zur Beurteilung funktioneller Eigenschaften
von Reinraumbekieidung 303
Rasfer-Tunnet-Mikroskopie
(Manuskript lag bei Drucklegung nicht vor) ?
Autorenverzeichnis 397
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