Schade, K., Köhler, R., & Thess, D. (1988). Fertigung integrierter Schaltungen (1. Aufl.). Verl. Technik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schade, Klaus, Roland Köhler, und Dietrich Thess. Fertigung Integrierter Schaltungen. 1. Aufl. Berlin: Verl. Technik, 1988.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schade, Klaus, et al. Fertigung Integrierter Schaltungen. 1. Aufl. Verl. Technik, 1988.
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