Die Struktur der thermischen Donatoren in Silizium:
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|---|---|
| adam_text | Titel: Die Struktur der thermischen Donatoren in Silizium
Autor: Michel, Jürgen
Jahr: 1987
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung 1
2 Thermische Donatoren in Silizium, Herkunft und Problematik 4
2.1 Sauerstoff in Silizium 4
2.2 Thermische Donatoren 6
3 Grundlagen der magnetischen Resonanz 12
3.1 Elektronen-Spin-Resonanz (ESR) 12
3.2 Elektronen-Kern-Doppelresonanz (ENDOH) 14
3.3 Analyse der ENDOR-Spektren 16
3.3.1 Der Spin-Hamütonoperator und die Lösung 16
des Eigenwertproblems
3.3.2 Die ENDOR-Winkelabhängigkeit 19
3.4 Bedeutung der Wechselwirkungskonstanten 21
4 Experimentelle Methoden 24
4.1 Die Meßapparatur 24
4.2 Diffusionsexperimente 26
5 Experimentelle Ergebnisse 30
5.1 Vorbemerkung 30
5.2 ESR von NL8 31
5.3 Untersuchungen an Proben aus Cz-Silizium 33
5.3.1 Einfluß der Temperdauer auf NL8 35
5.3.2 Einfluß der Beleuchtung auf NL8 (Photo-ENDOK) 38
5.3.3 Korrelation zwischen IH-Absorptions- und 41
ENDOR-Messungen
5.3.4 Shf-Wechselwirkungen mit Siliziumkernen 45
5.4 Untersuchungen an O diffundierten FZ-Silizium 55
Proben
5.4.1 ENDOR-Messungen von O-Wechselwirkungen 56
5.4.2 «0 ENDOR-Winkelabhängigkeit 61
6 Interpretation und Diskussion 65
6.1 Die Struktur der Thermischen Donatoren 65
6.1.1 Diskussion der bestehenden Modelle 66
6.1.2 Elektronenverteilung und Wellenfunktion 72
6.1.3 Strukturmodell für den Defektcore 77
6.2 Die g-Wert Verschiebung 81
6.3 Ausblick 83
7 Zusammenfassung 84
Anhang 86
Literaturverzeichnis 90
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