Silizium-Epitaxieschichten mittels Lösungstransport durch Fliehkraft und deren strukturelle und elektronische Charakterisierung überwiegend mit elektronenmikroskopischen Methoden:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: [Bonn] 1986
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1986,142
Schlagworte:
Beschreibung:103 S. Ill.

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