Ionenstrahllithographie: Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
1986
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | [10], 125 Seiten Illustrationen, Diagramme |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV000502296 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20211122 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 870612s1986 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)643273686 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV000502296 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-B1550 | ||
| 100 | 1 | |a Csepregi, Laszlo |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ionenstrahllithographie |b Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |c vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi |
| 264 | 1 | |a Berlin |c 1986 | |
| 300 | |a [10], 125 Seiten |b Illustrationen, Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |b Dissertation |c Technische Universität Berlin |d 1986 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000311525 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804114956255232000 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Csepregi, Laszlo |
| author_facet | Csepregi, Laszlo |
| author_role | aut |
| author_sort | Csepregi, Laszlo |
| author_variant | l c lc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV000502296 |
| ctrlnum | (OCoLC)643273686 (DE-599)BVBBV000502296 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00932nam a2200265 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV000502296</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20211122 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">870612s1986 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)643273686</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV000502296</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-B1550</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Csepregi, Laszlo</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ionenstrahllithographie</subfield><subfield code="b">Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="c">1986</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[10], 125 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Technische Universität Berlin</subfield><subfield code="d">1986</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000311525</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV000502296 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:14:57Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000311525 |
| oclc_num | 643273686 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| owner_facet | DE-12 DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| physical | [10], 125 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| publishDate | 1986 |
| publishDateSearch | 1986 |
| publishDateSort | 1986 |
| record_format | marc |
| spelling | Csepregi, Laszlo Verfasser aut Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi Berlin 1986 [10], 125 Seiten Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Dissertation Technische Universität Berlin 1986 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| spellingShingle | Csepregi, Laszlo Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |
| title_auth | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |
| title_exact_search | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |
| title_full | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi |
| title_fullStr | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi |
| title_full_unstemmed | Ionenstrahllithographie Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken vorgelegt von Diplom-Ingenieur Laszlo Csepregi |
| title_short | Ionenstrahllithographie |
| title_sort | ionenstrahllithographie entwicklung eines 1 1 proximity projektionsverfahrens auf der basis von channeling masken |
| title_sub | Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT csepregilaszlo ionenstrahllithographieentwicklungeines11proximityprojektionsverfahrensaufderbasisvonchannelingmasken |