APA (7th ed.) Citation

Engl, W. (1985). Direktschreibende Elektronenstrahllithographie (Als Ms. gedr.). Fachinformationszentrum.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Engl, Walter. Direktschreibende Elektronenstrahllithographie. Als Ms. gedr. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1985.

MLA (9th ed.) Citation

Engl, Walter. Direktschreibende Elektronenstrahllithographie. Als Ms. gedr. Fachinformationszentrum, 1985.

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