Engl, W. (1985). Direktschreibende Elektronenstrahllithographie (Als Ms. gedr.). Fachinformationszentrum.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Engl, Walter. Direktschreibende Elektronenstrahllithographie. Als Ms. gedr. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Engl, Walter. Direktschreibende Elektronenstrahllithographie. Als Ms. gedr. Fachinformationszentrum, 1985.
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