Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1985
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 98 S. Ill. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV000379855 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 870612s1985 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)256096352 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV000379855 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-824 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Pütz, Norbert |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| 264 | 1 | |c 1985 | |
| 300 | |a 98 S. |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1985 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallwachstum |0 (DE-588)4123579-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Kristallwachstum |0 (DE-588)4123579-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=000235320&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 940 | 1 | |q TUB-nveb | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000235320 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804114840161091584 |
|---|---|
| adam_text | ZUM WACHSTUM VON GAAS AUS METALL-ORGANISCHEN GA-VERBINDUNGEN UND ARSIN
VON DER FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN
TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES
EINES DOKTORS DER NATURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION VORGELEGT
VON DIPLOM PHYSIKER NORBERT PUTZ _^,^ -AUS, HELLENTHAF # - - * - ,
REFERENT: PROF. DR. RER. NAT. P. BALK 1. KORREFERENT: PROF. DR. RER.
NAT. K.-A. HEMPEL 2. KORREFERENT: PROF. DR. RER. NAT. H. LUETH TAG DER
MUENDLICHEN PRUEFUNG: 8. FEBRUAR 1985 INHALTSVERZEICHNIS SEITE EINLEITUNG
UND AUFGABENSTELLUNG 2. THEORETISCHE BETRACHTUNGEN ZUM KRISTALLWACHSTUM
MIT METALL-ORGANISCHEN AUSGANGSKOMPONENTEN 4 2.1 EPITAKTISCHES WACHSTUM
IM DURCHFLUSSREAKTOR 5 2.2 EPITAKTISCHES WACHSTUM IM UHV-SYSTEM 11 3.
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 15 3.1 MOCVD-APPARATUR 15 3.2 VERSUCHSABLAUF BEI
MOCVD 17 3.3 MOMBE-APPARATUR 19 3.4 VERSUCHSABLAUF BEI MOMBE 24
EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 26 4.1 DURCHFLUSSREAKTOR 26 4.1.1
WACHSTUMSRATEN 26 4.1.2 ELEKTRISCHE UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 37 4.2
UHV-SYSTEM 42 4.2.1 ZERLEGUNG VON TMG, TEG, ASH 3 UND CH 4 42 4.2.2
WACHSTUMSRATEN 47 4.2.3 ELEKTRISCHE UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 57
DISKUSSION 61 MECHANISMUS DES METALL-ORGANISCHEN WACHSTUMS VON GAAS 61
THERMISCHE ZERLEGUNG DER AUSGANGSKOMPONENTEN 61 WACHSTUMSRATEN IM
METALL-ORGANISCHEN DEPOSITIONSSYSTEM 65 1 EINFLUSS DES TMG-DRUCKES IM
DURCHFLUSSREAKTOR 65 2 ROLLE DES ASHG-DRUCKES IM DURCHFLUSSREAKTOR 68 3
WIRKUNGSWEISE DER UV-STIMULATION 70 4 ROLLE VON CH 4 BEI MOCVD VON GAAS
72 5 EINFLUSS DER STRAHLDRUCKE IM MOMBE-SYSTEM 74 6 EINFLUSS DER
DEPOSITIONSTEMPERATUR AUF DAS MOMBE-WACHSTUM 77 MODELLIERUNG DES
GAAS-WACHSTUMS IM DURCHFLUSSREAKTOR 78 ELEKTRISCHE UND OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN DER MOCVD-SCHICHTEN 83 EINFLUSS DER CH 4 -INJEKTION 83
EINFLUSS VON UV-LICHT 8L ^ EIGNUNG DER MOMBE ALS NEUE WACHSTUMSMETHODE 85
ZUSAMMENFASSUNG 88 ANHANG 90 LITERATURVERZEICHNIS 91
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Pütz, Norbert |
| author_facet | Pütz, Norbert |
| author_role | aut |
| author_sort | Pütz, Norbert |
| author_variant | n p np |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV000379855 |
| ctrlnum | (OCoLC)256096352 (DE-599)BVBBV000379855 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01347nam a2200349 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV000379855</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">870612s1985 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)256096352</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV000379855</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Pütz, Norbert</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">98 S.</subfield><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1985</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123579-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Kristallwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123579-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=000235320&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">TUB-nveb</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000235320</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV000379855 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:13:06Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-000235320 |
| oclc_num | 256096352 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-824 DE-29T DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-824 DE-29T DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 98 S. Ill. |
| psigel | TUB-nveb |
| publishDate | 1985 |
| publishDateSearch | 1985 |
| publishDateSort | 1985 |
| record_format | marc |
| spelling | Pütz, Norbert Verfasser aut Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin 1985 98 S. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1985 Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd rswk-swf Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 s Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 s DE-604 GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=000235320&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Pütz, Norbert Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4123579-4 (DE-588)4019155-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_auth | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_exact_search | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_full | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_fullStr | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_full_unstemmed | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_short | Zum Wachstum von GaAs aus metall-organischen Ga-Verbindungen und Arsin |
| title_sort | zum wachstum von gaas aus metall organischen ga verbindungen und arsin |
| topic | Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd |
| topic_facet | Kristallwachstum Galliumarsenid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=000235320&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT putznorbert zumwachstumvongaasausmetallorganischengaverbindungenundarsin |