Bernt, H. (1984). Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium. Fachinformationszentrum.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bernt, Helmut. Untersuchung Zur Verbesserung Der Stabilität Von Thermischen Oxiden Auf Poly- Und Einkristallinem Silizium. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1984.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bernt, Helmut. Untersuchung Zur Verbesserung Der Stabilität Von Thermischen Oxiden Auf Poly- Und Einkristallinem Silizium. Fachinformationszentrum, 1984.
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