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Obermeier, E. (1983). Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten.

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Obermeier, Ernst. Entwicklung Von Neuartigen Halbleiterdrucksensoren Mittels Polykristalliner Siliziumschichten. 1983.

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Obermeier, Ernst. Entwicklung Von Neuartigen Halbleiterdrucksensoren Mittels Polykristalliner Siliziumschichten. 1983.

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