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(1982). Einführende Beiträge zur Mikrolithographie: Tagungsbd. d. Frühjahrsschule Elektronenlithografie, veranst. von d. AG Technikum d. Sektion Physik d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena in Meuselbach 1981. Friedrich-Schiller-Univ.

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Einführende Beiträge Zur Mikrolithographie: Tagungsbd. D. Frühjahrsschule Elektronenlithografie, Veranst. Von D. AG Technikum D. Sektion Physik D. Friedrich-Schiller-Univ. Jena in Meuselbach 1981. Jena: Friedrich-Schiller-Univ, 1982.

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Einführende Beiträge Zur Mikrolithographie: Tagungsbd. D. Frühjahrsschule Elektronenlithografie, Veranst. Von D. AG Technikum D. Sektion Physik D. Friedrich-Schiller-Univ. Jena in Meuselbach 1981. Friedrich-Schiller-Univ, 1982.