APA (7th ed.) Citation

(1983). Weiterentwicklung der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1983.

MLA (9th ed.) Citation

Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum, 1983.