(1983). Weiterentwicklung der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum, 1983.
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