Stephani, D. (1983). Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen. Fachinformationszentrum.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Stephani, Dietrich. Experimentelle Und Theoretische Untersuchung Der Elektronenstrahldirektbelichtung Zur Herstellung Von Halbleitersubmikronstrukturen. Karlsruhe: Fachinformationszentrum, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Stephani, Dietrich. Experimentelle Und Theoretische Untersuchung Der Elektronenstrahldirektbelichtung Zur Herstellung Von Halbleitersubmikronstrukturen. Fachinformationszentrum, 1983.
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