Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen. Fachinformationszentrum.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Anwendung Und Weiterentwicklung Der Ionenimplantation Für Hochintegrierte Schaltungen. Karlsruhe: Fachinformationszentrum.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Anwendung Und Weiterentwicklung Der Ionenimplantation Für Hochintegrierte Schaltungen. Fachinformationszentrum.
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