Ein integrierter Druck-/Temperatursensor in Siliziumplanartechnik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1991
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
124 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Diss. |
| Beschreibung: | 147 S. graph. Darst. |
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