Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 |
| Beschreibung: | 121 Blätter Diagramme |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009712506 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160517 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940720s1993 |||| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 941304868 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75467468 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009712506 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-12 |a DE-29T |a DE-11 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 084 | |a CHE 621d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 740d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Zeuner, Michael Steffen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen |c vorgelegt von Michael Steffen Zeuner |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 121 Blätter |b Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Polymethylmethacrylate |0 (DE-588)4310108-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Polymethylmethacrylate |0 (DE-588)4310108-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006424197&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006424197 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812454060574375936 |
|---|---|
| adam_text |
4
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINORDNUNG UND ZIELSTELLUNG DER ARBEIT . ?
2
.
KENNTNISSTAND ZUR PLASMASTRUKTURIERUNG VON POLYMERWERKSTOFFEN
2.1. CHEMISCHER MECHANISMUS DES POLYMERABBAUS UND EINFLUSS DER
POLYMERSTRUKTUR . 9
2.2. EINFLUSSNAHME VON PROZESSPARAMCTEM
2.21. KONZENTRATION NEUTRALER REAKTIVER SPEZIES . 13
2.2.2. IONENSTROM UND LONENENERGIE . 1
2.2.3. EINFLUSS DER SUBSTRATTEMPERATUR . 19
3. VERSUCHSANORDNUNG ZUM AETZEN VON POLYMETHYLMATHACRYLAT
3.1. BILANZIERUNG PLASMACHEMISCHER STOFFWANDLUNGSPROZESSE . 22
3.2. HOCHRATEAETZREAKTOR . 24
3.3. REAKTOR-UND MASSENSPEKTROMETERPUMPSTAND . 27
3.4. STEUER-UND MESSELEKTRONIK . 30
3.5. MESSREGIME . 32
4. VERSUCHSERGEBNISSE UND DISKUSSION
4.1. MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG DER AETZVORGAENGC . 36
4.2. EINFLUSSNAHME DER AEUSSEREN REAKTORPARAMETER AUF DIE POLYMERABBAURATC
4.2.1. PROZESSGASDURCHSATZ . 46
4.2.2. HF-LEISTUNGSDICHTE .
48
4.2.3. REAKTORTOTALDRUCK . 49
4.2.4. SUBSTRATTEMPERATUR .
4.3. BEINFLUSSUNG DER NEUTRALGASZUSAMMENSETZUNG DURCH DIE
PROZESSPARAMETER
4.3.1. PROZESSGASDURCHSATZ . 32
4.3.2. HF-LEISTUNGSDICHTE UND REAKTORTOTALDRUCK. 35
4.4. QUANTITATIVE BILANZIERUNG DER AETZPROZESSE
4.4.1. GASABSTROM VOM AETZREAKTOR . 38
4.4.2. BRUTTOSTOECHIOMETRIE DER NEUTRALGASE . 60
4.4.3. BILANZIERUNG DER IONENKOMPONENTE 65
4.5. EINFLUSSNAHME UNTERSCHIEDLICHER ELEKTRODCNMATERIALICN . 68
5. PLASMADIAGNOSTIK AN HF-ENTLADUNGEN
5.1. PLASMARANDSCHICHTEN
5.1.1. PHYSIKALISCHE CHARAKTERISIERUNG VON PLASMARANDSCHICHTEN . 69
5.1.2 KENNTNISSTAND ZUM IONENTRANSPORT IN PLASMARANDSCHICHTEN . 72
5.2. EXPERIMENTELLE ANORDNUNG
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/941304868
5
5.2.1. PLASMAMONITOR EQP 300 . 80
5.2.2. ENTLADUNGSANORDNUNG . 84
5.3. MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG DES IONCNTRANSPORTMCCHANISMUS . 88
5.4. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE
5.4.1. ARGON-ENTLADUNGEN . 93
5.4.2. SAUERSTOFF-ENTLADUNGEN . 102
5.4.3. PROZESSANALYTIK IN EINER METHACRYLSAEREMETHYLESTER-(MMA)-ENTLADUNG
ZUR SCHICHTAB
SCHEIDUNG . 105
6. ZUSAMMENFASSUNG 110
LITERATUR . 112
THESEN . 117 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Zeuner, Michael Steffen |
| author_facet | Zeuner, Michael Steffen |
| author_role | aut |
| author_sort | Zeuner, Michael Steffen |
| author_variant | m s z ms msz |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009712506 |
| classification_rvk | ZM 7680 |
| classification_tum | CHE 621d ELT 285d CHE 740d |
| ctrlnum | (OCoLC)75467468 (DE-599)BVBBV009712506 |
| discipline | Chemie Elektrotechnik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009712506</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160517</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940720s1993 |||| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">941304868</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75467468</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009712506</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 621d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 740d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Zeuner, Michael Steffen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Michael Steffen Zeuner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">121 Blätter</subfield><subfield code="b">Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polymethylmethacrylate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4310108-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Polymethylmethacrylate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4310108-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006424197&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006424197</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009712506 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:21:26Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006424197 |
| oclc_num | 75467468 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-29T DE-11 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-29T DE-11 DE-83 |
| physical | 121 Blätter Diagramme |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Zeuner, Michael Steffen Verfasser aut Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen vorgelegt von Michael Steffen Zeuner 1993 121 Blätter Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd rswk-swf Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 s Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006424197&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Zeuner, Michael Steffen Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4310108-2 (DE-588)4174821-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen |
| title_auth | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen |
| title_exact_search | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen |
| title_full | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen vorgelegt von Michael Steffen Zeuner |
| title_fullStr | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen vorgelegt von Michael Steffen Zeuner |
| title_full_unstemmed | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen vorgelegt von Michael Steffen Zeuner |
| title_short | Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen |
| title_sort | oxydativer abbau von polymethylmethacrylat pmma beim plasmaatzen |
| topic | Polymethylmethacrylate (DE-588)4310108-2 gnd Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd |
| topic_facet | Polymethylmethacrylate Plasmaätzen Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006424197&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT zeunermichaelsteffen oxydativerabbauvonpolymethylmethacrylatpmmabeimplasmaatzen |