PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
1999
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | II, 96 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3896534955 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012527641 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010423 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 990420s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 956161812 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3896534955 |c brosch. : DM 69.00, sfr 62.79, S 503.64 |9 3-89653-495-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76036911 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012527641 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 160d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Witthaut, Mirjam |d 1966- |e Verfasser |0 (DE-588)121397580 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N |c Mirjam Witthaut |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Mainz |c 1999 | |
| 300 | |a II, 96 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bornitrid |0 (DE-588)4146352-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminiumnitrid |0 (DE-588)4226770-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Aluminiumnitrid |0 (DE-588)4226770-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Bornitrid |0 (DE-588)4146352-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008505322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008505322 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804127173648318464 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Witthaut, Mirjam 1966- |
| author_GND | (DE-588)121397580 |
| author_facet | Witthaut, Mirjam 1966- |
| author_role | aut |
| author_sort | Witthaut, Mirjam 1966- |
| author_variant | m w mw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012527641 |
| classification_tum | FER 882d PHY 160d |
| ctrlnum | (OCoLC)76036911 (DE-599)BVBBV012527641 |
| discipline | Physik Fertigungstechnik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01961nam a2200481 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012527641</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010423 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">990420s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">956161812</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3896534955</subfield><subfield code="c">brosch. : DM 69.00, sfr 62.79, S 503.64</subfield><subfield code="9">3-89653-495-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76036911</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012527641</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 160d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Witthaut, Mirjam</subfield><subfield code="d">1966-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)121397580</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N</subfield><subfield code="c">Mirjam Witthaut</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Mainz</subfield><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 96 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bornitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146352-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminiumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4226770-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Aluminiumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4226770-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Bornitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146352-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008505322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008505322</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012527641 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:29:08Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3896534955 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008505322 |
| oclc_num | 76036911 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | II, 96 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| publisher | Mainz |
| record_format | marc |
| spelling | Witthaut, Mirjam 1966- Verfasser (DE-588)121397580 aut PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N Mirjam Witthaut 1. Aufl. Aachen Mainz 1999 II, 96 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd rswk-swf Bornitrid (DE-588)4146352-3 gnd rswk-swf Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 s Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 s Bornitrid (DE-588)4146352-3 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008505322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Witthaut, Mirjam 1966- PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Bornitrid (DE-588)4146352-3 gnd Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4150649-2 (DE-588)4146352-3 (DE-588)4226770-5 (DE-588)4208514-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N |
| title_auth | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N |
| title_exact_search | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N |
| title_full | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N Mirjam Witthaut |
| title_fullStr | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N Mirjam Witthaut |
| title_full_unstemmed | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N Mirjam Witthaut |
| title_short | PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N |
| title_sort | pvd abscheidung und charakterisierung einphasiger gruppe iii nitride aus dem system al b n |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Bornitrid (DE-588)4146352-3 gnd Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Drei-Fünf-Halbleiter Bornitrid Aluminiumnitrid Magnetronsputtern Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008505322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT witthautmirjam pvdabscheidungundcharakterisierungeinphasigergruppeiiinitrideausdemsystemalbn |