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    Silizium-Waferbonden Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik

    Silizium-Waferbonden Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik von Wiemer, Maik 1963-, Herziger, Kai, Geßner, Thomas 1954-2016

    Veröffentlicht 1998
    Buch Fernleihe Bestellen


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    Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren

    Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren von Bagdahn, Jörg, Wiemer, Maik 1963-

    Veröffentlicht 2005
    Buch Fernleihe Bestellen


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    Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren

    Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren von Wiemer, Maik 1963-

    Veröffentlicht 1999
    Buch Fernleihe Bestellen


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  4. 4
    Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren

    Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren von Bagdahn, Jörg, Wiemer, Maik 1963-

    Veröffentlicht 2005
    Buch Fernleihe Bestellen


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