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Möglichkeiten der Dotierungsbestimmung in ionen-implantierten n-InSb-Schichten mittels Schicht-Halleffekts- und Schichtwiderstandsmessungen/ von Klaus H. Wiedeburg von Wiedeburg, Klaus H.
Veröffentlicht 1977Signatur: Wird geladen …
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Möglichkeiten der Dotierungsbestimmung in Ionen-implantierten n-InSb-Schichten mittels Schicht-Halleffekts- und Schicht-Widerstandsmessungen von Wiedeburg, Klaus H.
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Möglichkeiten der Dotierungsbestimmung in Ionen-implantierten n-InSb-Schichten mittels Schicht-Halleffekts- und Schicht-Widerstandsmessungen von Wiedeburg, Klaus H.
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