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Entwicklung einer opto-elektro-mechanischen 2x2-Schaltmatrix in LIGA-Technik für die optische Telekommunikation von Ruzzu, Antonio C. M., Wallrabe, Ulrike, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 2000Signatur: Wird geladen …Inhaltsverzeichnis
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Entwicklung einer opto-elektro-mechanischen 2x2-Schaltmatrix in LIGA-Technik für die optische Telekommunikation von Ruzzu, A. C. M., Wallrabe, Ulrike, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 2000Signatur: Wird geladen …
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Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik von Schumacher, Knut, Wallrabe, Ulrike, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 1999Signatur: Wird geladen …
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Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren von Wallrabe, Ulrike, Bley, Peter, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 1992Signatur: Wird geladen …
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Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren von Wallrabe, Ulrike
Veröffentlicht 1992Signatur: Wird geladen …
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6
Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik von Schumacher, Knut, Wallrabe, Ulrike, Mohr, Jürgen
Veröffentlicht 1999Signatur: Wird geladen …
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7
Cooperative microactuator systems
Veröffentlicht 2023Weitere Verfasser:Signatur: Wird geladen …Volltext öffnen
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