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    A high speed tempering system for MEMS calibration an test

    A high speed tempering system for MEMS calibration an test von Dickow, Andreas, Waber, Tobias, Graf, Klemens 1968-, Feiertag, Gregor

    Veröffentlicht 2011
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    Elektronisch Buchkapitel Fernleihe Bestellen


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    Entwicklung, Optimierung und Kalibrierung eines barometrischen Drucksensors mit einer neuartigen Flip-Chip Gehäusetechnologie

    Entwicklung, Optimierung und Kalibrierung eines barometrischen Drucksensors mit einer neuartigen Flip-Chip Gehäusetechnologie von Waber, Tobias

    Veröffentlicht 2015
    Abschlussarbeit Buch Fernleihe Bestellen


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    Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package

    Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package von Waber, Tobias, Sax, M., Pahl, Wolfgang, Stufle, S., Leidl, Anton, Guenther, Margarita, Feiertag, Gregor

    Veröffentlicht 2014
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    Elektronisch E-Book Fernleihe Bestellen


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