Ionenstrahlätzung von Laserspiegeln auf InP-Basis:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
REFLEXIONSKOEFFIZIENT
DES
GEAETZTEN
SPIEGELS
4
2.1
GEOMETRISCHE
STOERUNGEN
.
4
2.2
AUSWIRKUNGEN
DES
LONENBESCHUSSES
.
9
2.3
BILDUNG
EINER
ANTIREFLEXSCHICHT
.
11
2.4
AUSWIRKUNGEN
AUF
DEN
LASER
.
11
3
SPUTTERTHEORIE
15
4
LONENSTRAHLAETZUNG
22
4.1
AETZANLAGE
.
23
4.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
LONENQUELLE
.
25
4.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
EXTRAHIERTEN
IONEN
.
30
4.4
ABHAENGIGKEITEN
DER
AETZRATE
.
33
5
THEORETISCHE
BEHANDLUNG
DES
MESAPROFILS
50
5.1
GRABENBILDUNG
.
50
5.2
VERRUNDUNG
DES
AETZFUFLES
.
51
5.3
FLANKENWINKEL
.
52
6
SCHAEDIGUNGSUNTERSUCHUNGEN
54
6.1
OBERFLAECHEN-LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
.
55
6.2
PHOTOLUMINESZENZ
.
59
6.3
VERGLEICH
DER
SCHAEDIGUNGSTIEFE
MIT
DER
EINDRINGTIEFE
.
61
7
AETZMASKIERUNG
62
7.1
GRUNDLEGENDE
MASKIERUNGSPROBLEME
.
62
7.2
LITHOGRAPHIE
.
64
7.3
STRUKTURIERUNG
DER
TITANMASKIERUNG
.
66
7.4
OBERFLAECHENRAUHIGKEIT
DES
TITANS
.
70
7.5
KANTENSTEILHEIT
DER
TITANMASKIERUNG
.
74
8
LASER
MIT
GEAETZTEM
SPIEGEL
77
8.1
SCHICHTENFOLGE
.
79
8.2
KONTAKTE
.
82
8.3
RUECKSEITENAETZUNG
.
84
8.4
REM-AUFNAHMEN
DES
GEAETZTEN
SPIEGELS
.
90
8.5
NASSCHEMISCHE
UBERAETZUNG
.
92
8.6
EMISSIONSSPEKTRUM
.
92
8.7
SCHWELLENSTROMDICHTE
UND
REFLEXIONSKOEFFIZIENT
.
92
8.8
DIFFERENTIELLER
QUANTENWIRKUNGSGRAD
.
94
8.9
VORHERSAGEN
FUER
EINEN
INTEGRIERBAREN
LASER
.
95
8.10
VERGLEICH
MIT
LITERATURANGABEN
.
96
9
ZUSAMMENFASSUNG
98
ANHANG
100
LITERATURVERZEICHNIS
104 |
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