Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Siegen
2016
|
| Series: | Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik
11 |
| Subjects: | |
| Physical Description: | XI, 110 Seiten Illustrationen, Diagramme |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV043869099 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20170327 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 161109s2016 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (DE-599)HBZHT019133073 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZN 4150 |0 (DE-625)157360: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Vogel, Michael |d 1978- |e Verfasser |0 (DE-588)1117115070 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen |c von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang |
| 264 | 1 | |a Siegen |c 2016 | |
| 300 | |a XI, 110 Seiten |b Illustrationen, Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik |v Band 11 | |
| 502 | |b Dissertation |c Universität Siegen |d 2016 | ||
| 546 | |a Abstract in englischer Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminiumnitrid |0 (DE-588)4226770-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Aluminiumnitrid |0 (DE-588)4226770-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Jiang, Xin |4 dgs | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |t Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel |
| 830 | 0 | |a Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik |v 11 |w (DE-604)BV040492552 |9 11 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029279012 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804176755844448256 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Vogel, Michael 1978- |
| author_GND | (DE-588)1117115070 |
| author_facet | Vogel, Michael 1978- |
| author_role | aut |
| author_sort | Vogel, Michael 1978- |
| author_variant | m v mv |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV043869099 |
| classification_rvk | ZN 4150 |
| ctrlnum | (DE-599)HBZHT019133073 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02100nam a2200433 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV043869099</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20170327 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">161109s2016 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)HBZHT019133073</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4150</subfield><subfield code="0">(DE-625)157360:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vogel, Michael</subfield><subfield code="d">1978-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1117115070</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen</subfield><subfield code="c">von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Siegen</subfield><subfield code="c">2016</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XI, 110 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik</subfield><subfield code="v">Band 11</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Universität Siegen</subfield><subfield code="d">2016</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Abstract in englischer Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminiumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4226770-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Aluminiumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4226770-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Jiang, Xin</subfield><subfield code="4">dgs</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="t">Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik</subfield><subfield code="v">11</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV040492552</subfield><subfield code="9">11</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029279012</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV043869099 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T07:37:14Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-029279012 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | XI, 110 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| publishDate | 2016 |
| publishDateSearch | 2016 |
| publishDateSort | 2016 |
| record_format | marc |
| series | Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik |
| series2 | Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik |
| spelling | Vogel, Michael 1978- Verfasser (DE-588)1117115070 aut Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang Siegen 2016 XI, 110 Seiten Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik Band 11 Dissertation Universität Siegen 2016 Abstract in englischer Sprache Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd rswk-swf Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Sputtern (DE-588)4182614-0 s Diamant (DE-588)4012069-7 s DE-604 Jiang, Xin dgs Erscheint auch als Online-Ausgabe Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik 11 (DE-604)BV040492552 11 |
| spellingShingle | Vogel, Michael 1978- Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4226770-5 (DE-588)4182614-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen |
| title_auth | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen |
| title_exact_search | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen |
| title_full | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang |
| title_fullStr | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang |
| title_full_unstemmed | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang |
| title_short | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen |
| title_sort | herstellung von aluminiumnitrid dunnschichten mittels magnetron sputtern auf diamant fur potentielle pseudo surface acoustic wave anwendungen |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Aluminiumnitrid (DE-588)4226770-5 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Diamant Aluminiumnitrid Sputtern Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV040492552 |
| work_keys_str_mv | AT vogelmichael herstellungvonaluminiumnitriddunnschichtenmittelsmagnetronsputternaufdiamantfurpotentiellepseudosurfaceacousticwaveanwendungen AT jiangxin herstellungvonaluminiumnitriddunnschichtenmittelsmagnetronsputternaufdiamantfurpotentiellepseudosurfaceacousticwaveanwendungen |