Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb: = Influencing factors on the emission properties of an EUV light source in long-term operation
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus Verlag
2020
|
| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Schriftenreihe: | Ergebnisse aus der Lasertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | v, 132 Seiten 21 cm x 14.8 cm, 223 g |
| ISBN: | 9783863598594 3863598598 |
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|---|---|
| adam_text | INHALT
KURZFASSUNG
III
ABSTRACT
V
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
1
2
ERZEUGUNG
EXTREM
ULTRAVIOLETTEN
LICHTS
IN
Z-PINCH
PLASMEN
3
2.1
EINLEITUNG
ZUR
ERZEUGUNG
VON
EUV-STRAHLUNG
....................................................
3
2.2
HOHLKATHODENGETRIGGERTES
PINCHPLASMA
................................................................
4
2.2.1
GRUNDLAGEN
GASENTLADUNG
......................................................................
4
2.2.1.1
TOWNSEND
*
SCHE
ZUENDBEDINGUNG
...............................................
4
2.2.1.2
ABNORMALE
GLIMMENTLADUNG
.....................................................
6
2.2.2
PSEUDOFUNKENSCHALTER
...............................................................................
7
2.2.2.1
ENTLADUNGSPHASEN
....................................................................
8
2.2.2.2
MODIFIZIERTES
PASCHENGESETZ
.....................................................
9
2.2.2.3
TRIGGERUNG
................................................................................
10
2.2.3
ERZEUGUNG
VON
EUV-STRAHLUNG
IM
HCT-PINCHPLASMA
............................
10
2.3
LEISTUNGSINDIKATOREN
EINER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
...........................................
14
2.4
STAND
DER
WISSENSCHAFT
UND
TECHNIK
................................................................
16
2.4.1
ANWENDUNG
VON
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.................................................
16
2.4.2
AUSGANGSSITUATION
.....................................................................................
18
2.4.3
EINORDNUNG
IN
DAS
WISSENSCHAFTLICH-TECHNOLOGISCHE
UMFELD
......................
21
2.5
WISSENSCHAFTLICHE
FRAGESTELLUNG
.............................................................................
24
2.5.1
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DEN
BETRIEB
DER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
...............
24
3
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
-
AUFBAU
UND
EROSIONSMECHANISMEN
29
3.1
ELEKTRODENSYSTEM
.....................................................................................................
29
3.2
TRIGGERUNG
UND
ANSTEUERUNG
DER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.....................................
31
3.3
EROSIONSMECHANISMEN
IN
EINER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
........................................
35
3.3.1
PARAMETER
ZUR
QUANTIFIZIERUNG
DER
VOLUMENEROSION
...............................
35
3.3.2
ANALYSE
DES
MATERIALAUFTRAGES
AN
ELEKTRODEN
............................................
35
3.3.3
THEORETISCHE
UEBERLEGUNGEN
ZUR
ELEKTRODENEROSION
..................................
36
3.3.3.1
SPUTTEREROSION
.............................................................................
37
3.3.3.2
THERMISCHE
PULSBELASTUNG
DER
ELEKTRODENOBERFLAECHE
............
41
3.3.3.3
STROMTRAGENDE
PROZESSE
..............................................................
42
3.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
EROSIONSURSACHEN
...........................................................
42
4
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DIE
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
45
4.1
EINLEITUNG
UND
DATENBASIS
......................................................................................
45
4.2
GASVERTEILUNG
IM
ELEKTRODENSYSTEM
.......................................................................
46
4.2.1
GRUNDLAGEN
ZUR
STROEMUNG
IM
EVAKUIERTEN
ELEKTRODENSYSTEM
............
46
II
INHALT
4.2.2
DRUCKMESSUNGEN
AN
VERSCHIEDENEN
SYSTEMEN
............................................
48
4.2.3
NEUTRALGASTEILCHENZAHL
UND
-LINIENDICHTE
..................................................
48
4.3
EINFLUSS
AUF
DIE
EUV-ERZEUGUNG
..............................................................................
50
4.3.1
EUV-STRAHLUNGSMENGE
BEI
13,5
NM
...........................................................
50
4.3.2
RAEUMLICHES
EMISSIONSPROFIL
BEI
13,5
NM
.....................................................
54
4.3.3
SPEKTRALE
EMISSIONSEIGENSCHAFTEN
..............................................................
58
4.3.4
DYNAMIK
VON
ENTLADUNGSSTROM
UND
EUV-EMISSION
...............................
62
4.3.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
DES
EINFLUSSES
DER
ANODEN-
UND
ZWISCHENELEKTRODENGEOMETRIE
AUF
DIE
EUV-ERZEUGUNG
..............................
65
4.4
EINFLUSS
AUF
DAS
ZUENDVERHALTEN
..............................................................................
68
4.4.1
UNTERSUCHUNG
DES
ENTLADUNGSVERHALTEN
MIT
STATISCHER
SPANNUNGSVER
SORGUNG
.............................................................................................
69
4.4.2
TYPISCHE
STROM-SPANNUNGS-CHARAKTERISTIK
...............................................
69
4.4.3
VARIATION
DES
ELEKTRODENZUSTANDES
...........................................................
71
4.4.4
ROLLE
DER
ZWISCHENELEKTRODE
.......................................................................
74
4.4.5
EFFEKT
EINER
HALBLEITENDEN
ZWISCHENELEKTRODE
............................................
75
4.4.6
EINFLUSS
DES
BLOCKIERPOTENTIALS
....................................................................
76
4.4.7
NOTWENDIGKEIT
DER
HOHLKATHODENBOHRUNG
..................................................
78
4.4.8
UEBERTRAGBARKEIT
DER
EXPERIMENTE
AUF
DEN
REPETITIVEN
BETRIEB
.............
79
4.4.9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
DER
ENTLADUNGSEIGENSCHAFTEN
....
80
5
ENTWICKLUNG
UND
TEST
NEUER
ELEKTRODENSYSTEME
83
5.1
EINLEITUNG
UND
TESTABLAUF
.......................................................................................
83
5.2
URSPRUENGLICHE
ELEKTRODENGEOMETRIE
MIT
NEUER
TRIGGERUNG
...................................
84
5.3
ANPASSUNGEN
DER
GEOMETRIE
DES
ELEKTRODENSYSTEMS
............................................
86
5.4
VERWENDUNG
EINER
ZWISCHENELEKTRODE
AUS
SILIZIUMKARBID
......................................
88
5.5
EROSIONSVERHALTEN
VON
ZWISCHENELEKTRODENMATERIALIEN
.........................................
90
5.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
DER
ELEKTRODENENTWICKLUNG
...............................
91
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
95
7
ANHANG
99
A
DIAGNOSTIK
...................................................................................................................
99
A.L
BESTIMMUNG
DER
INBAND
STRAHLUNGSMENGE
MIT
EUV-ENERGIEMONITOR
.
99
A.2
BESTIMMUNG
DER
STRAHLDICHTE
BEI
13,5
NM
..............................................
100
A.3
EU
V-SPEKTROGRAPH
......................................................................................
101
A.4
D//DT-SONDE
..................................................................................................
102
A.5
SCHNELLE
PHOTODIODE
...................................................................................
102
B
SPEKTRALE
VERTEILUNG
...............................................................................................
103
C
THEORIE
DER
ABNORMALEN
GLIMMENTLADUNG
.............................................................
104
D
FORMELZEICHEN
...........................................................................................................
107
LITERATURVERZEICHNIS
113
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
125
TABELLENVERZEICHNIS
131
|
| adam_txt |
INHALT
KURZFASSUNG
III
ABSTRACT
V
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
1
2
ERZEUGUNG
EXTREM
ULTRAVIOLETTEN
LICHTS
IN
Z-PINCH
PLASMEN
3
2.1
EINLEITUNG
ZUR
ERZEUGUNG
VON
EUV-STRAHLUNG
.
3
2.2
HOHLKATHODENGETRIGGERTES
PINCHPLASMA
.
4
2.2.1
GRUNDLAGEN
GASENTLADUNG
.
4
2.2.1.1
TOWNSEND
*
SCHE
ZUENDBEDINGUNG
.
4
2.2.1.2
ABNORMALE
GLIMMENTLADUNG
.
6
2.2.2
PSEUDOFUNKENSCHALTER
.
7
2.2.2.1
ENTLADUNGSPHASEN
.
8
2.2.2.2
MODIFIZIERTES
PASCHENGESETZ
.
9
2.2.2.3
TRIGGERUNG
.
10
2.2.3
ERZEUGUNG
VON
EUV-STRAHLUNG
IM
HCT-PINCHPLASMA
.
10
2.3
LEISTUNGSINDIKATOREN
EINER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.
14
2.4
STAND
DER
WISSENSCHAFT
UND
TECHNIK
.
16
2.4.1
ANWENDUNG
VON
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.
16
2.4.2
AUSGANGSSITUATION
.
18
2.4.3
EINORDNUNG
IN
DAS
WISSENSCHAFTLICH-TECHNOLOGISCHE
UMFELD
.
21
2.5
WISSENSCHAFTLICHE
FRAGESTELLUNG
.
24
2.5.1
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DEN
BETRIEB
DER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.
24
3
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
-
AUFBAU
UND
EROSIONSMECHANISMEN
29
3.1
ELEKTRODENSYSTEM
.
29
3.2
TRIGGERUNG
UND
ANSTEUERUNG
DER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.
31
3.3
EROSIONSMECHANISMEN
IN
EINER
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
.
35
3.3.1
PARAMETER
ZUR
QUANTIFIZIERUNG
DER
VOLUMENEROSION
.
35
3.3.2
ANALYSE
DES
MATERIALAUFTRAGES
AN
ELEKTRODEN
.
35
3.3.3
THEORETISCHE
UEBERLEGUNGEN
ZUR
ELEKTRODENEROSION
.
36
3.3.3.1
SPUTTEREROSION
.
37
3.3.3.2
THERMISCHE
PULSBELASTUNG
DER
ELEKTRODENOBERFLAECHE
.
41
3.3.3.3
STROMTRAGENDE
PROZESSE
.
42
3.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
EROSIONSURSACHEN
.
42
4
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DIE
EUV-STRAHLUNGSQUELLE
45
4.1
EINLEITUNG
UND
DATENBASIS
.
45
4.2
GASVERTEILUNG
IM
ELEKTRODENSYSTEM
.
46
4.2.1
GRUNDLAGEN
ZUR
STROEMUNG
IM
EVAKUIERTEN
ELEKTRODENSYSTEM
.
46
II
INHALT
4.2.2
DRUCKMESSUNGEN
AN
VERSCHIEDENEN
SYSTEMEN
.
48
4.2.3
NEUTRALGASTEILCHENZAHL
UND
-LINIENDICHTE
.
48
4.3
EINFLUSS
AUF
DIE
EUV-ERZEUGUNG
.
50
4.3.1
EUV-STRAHLUNGSMENGE
BEI
13,5
NM
.
50
4.3.2
RAEUMLICHES
EMISSIONSPROFIL
BEI
13,5
NM
.
54
4.3.3
SPEKTRALE
EMISSIONSEIGENSCHAFTEN
.
58
4.3.4
DYNAMIK
VON
ENTLADUNGSSTROM
UND
EUV-EMISSION
.
62
4.3.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
DES
EINFLUSSES
DER
ANODEN-
UND
ZWISCHENELEKTRODENGEOMETRIE
AUF
DIE
EUV-ERZEUGUNG
.
65
4.4
EINFLUSS
AUF
DAS
ZUENDVERHALTEN
.
68
4.4.1
UNTERSUCHUNG
DES
ENTLADUNGSVERHALTEN
MIT
STATISCHER
SPANNUNGSVER
SORGUNG
.
69
4.4.2
TYPISCHE
STROM-SPANNUNGS-CHARAKTERISTIK
.
69
4.4.3
VARIATION
DES
ELEKTRODENZUSTANDES
.
71
4.4.4
ROLLE
DER
ZWISCHENELEKTRODE
.
74
4.4.5
EFFEKT
EINER
HALBLEITENDEN
ZWISCHENELEKTRODE
.
75
4.4.6
EINFLUSS
DES
BLOCKIERPOTENTIALS
.
76
4.4.7
NOTWENDIGKEIT
DER
HOHLKATHODENBOHRUNG
.
78
4.4.8
UEBERTRAGBARKEIT
DER
EXPERIMENTE
AUF
DEN
REPETITIVEN
BETRIEB
.
79
4.4.9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
DER
ENTLADUNGSEIGENSCHAFTEN
.
80
5
ENTWICKLUNG
UND
TEST
NEUER
ELEKTRODENSYSTEME
83
5.1
EINLEITUNG
UND
TESTABLAUF
.
83
5.2
URSPRUENGLICHE
ELEKTRODENGEOMETRIE
MIT
NEUER
TRIGGERUNG
.
84
5.3
ANPASSUNGEN
DER
GEOMETRIE
DES
ELEKTRODENSYSTEMS
.
86
5.4
VERWENDUNG
EINER
ZWISCHENELEKTRODE
AUS
SILIZIUMKARBID
.
88
5.5
EROSIONSVERHALTEN
VON
ZWISCHENELEKTRODENMATERIALIEN
.
90
5.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
DER
ELEKTRODENENTWICKLUNG
.
91
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
95
7
ANHANG
99
A
DIAGNOSTIK
.
99
A.L
BESTIMMUNG
DER
INBAND
STRAHLUNGSMENGE
MIT
EUV-ENERGIEMONITOR
.
99
A.2
BESTIMMUNG
DER
STRAHLDICHTE
BEI
13,5
NM
.
100
A.3
EU
V-SPEKTROGRAPH
.
101
A.4
D//DT-SONDE
.
102
A.5
SCHNELLE
PHOTODIODE
.
102
B
SPEKTRALE
VERTEILUNG
.
103
C
THEORIE
DER
ABNORMALEN
GLIMMENTLADUNG
.
104
D
FORMELZEICHEN
.
107
LITERATURVERZEICHNIS
113
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
125
TABELLENVERZEICHNIS
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