Semiconductor wafer bonding: science and technology
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Tong, Qin-Yi (VerfasserIn), Gösele, Ulrich 1949-2009 (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Wiley 1999
Schriftenreihe:The Electrochemical Society series A Wiley-Interscience publication
Schlagworte:
Beschreibung:XVIII, 297 S. graph. Darst.
ISBN:0471574813

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