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    Symposium held November 25 - 28, 2001, Boston, Massachusetts, USA

    Symposium held November 25 - 28, 2001, Boston, Massachusetts, USA

    Veröffentlicht 2002
    “… Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Boston, Mass …”
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  2. 2
    Symposium held November 29 - December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.

    Symposium held November 29 - December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.

    Veröffentlicht 2000
    “… Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Boston, Mass …”
    Tagungsbericht Buch Fernleihe Bestellen


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  3. 3
    Symposium held November 27 - 28, 2000, Boston, Massachusetts, USA

    Symposium held November 27 - 28, 2000, Boston, Massachusetts, USA

    Veröffentlicht 2001
    “… Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Boston, Mass …”
    Tagungsbericht Buch Fernleihe Bestellen


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  4. 4
    Symposium symposium held December 1 - 2, 1998, Boston, Massachusetts, USA

    Symposium symposium held December 1 - 2, 1998, Boston, Massachusetts, USA

    Veröffentlicht 1999
    “… Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Boston, Mass …”
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