High resolution focused ion beams: FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused beam technology
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Orloff, Jon (VerfasserIn), Utlaut, Mark (VerfasserIn), Swanson, Lynwood W. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Kluwer Academic/Plenum Publ. 2003
Schlagworte:
Online-Zugang:Table of contents
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:X, 303 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:9780306473500
030647350X

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