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High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology von Orloff, Jon, Utlaut, Mark, Swanson, Lynwood
Veröffentlicht 2003Signatur: Wird geladen …Volltext öffnen
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High resolution focused ion beams FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused beam technology von Orloff, Jon, Utlaut, Mark, Swanson, Lynwood W.
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